Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9275950 zu verkaufen
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ID: 9275950
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
System, 12"
EFEM
O3 Rack
AC Rack
NPP Rack
Main TM
HARP USG Chamber
Monitor
(3) Part boxes
(2) KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
UPS Interface
Front Interface (FI):
(3) Part boxes
WIP Delivery type: OHT
Chamber A, B and C twin: HARP USFG
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
HA12 Dual zone heater
Face plate: Water cooled
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (RPS): MKS FI80133
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: NORCAL 021010-1
TV: MKS 683B-31931
Monitor: Stand alone
Chamber C: AX8407A Ozone generator
Ozone generator rack: Eterna
Gas delivery - APF GP:
MFC: GF 125
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
NIPPON Filters
Manual valves: FUJIKIN
Pneumatic valves: FUJIKIN
Liquid source
No regulated gas panel
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
Gas pallet configuration:
Chamber A, B and C:
MFC: N2-Purge
Gas / Size
NF3 / 15000
AR / 15000
N2 / 5000
O2 / 30000
HE / 30000
N2 / 50000
LFM: STEC
TEOS: 7g
Spare parts included
Missing parts:
(2) AX8407A Ozone generators
(6) 0246-22744 Heater lift assemblies
0240-80219 Ring
(2) Ceramic heaters
Chamber B: Lift assembly
Chamber B and C: (2) Controller boxes with board
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein hochentwickelter Reaktor der nächsten Generation zur Dünnschichtabscheidung von Photovoltaikmaterialien. Es wurde entwickelt, um die vollständige Automatisierung von Photovoltaik (PV) -Fertigungsprozessen zu ermöglichen, von Materialvorläufern bis hin zu hocheffizienten PV-Zellen und Modulen. Die Kombination aus Automatisierung, Flexibilität und hoher Leistung macht AMAT Producer GT zu einem revolutionären Werkzeug für die PV-Fertigung. APPLIED MATERIALS Hersteller GT basiert auf mehreren evolutionären Generationen von Technologie und Innovation. Die fortschrittliche Plattform der 10. Generation besteht aus einem voll automatisierten, dedizierten Multi-Tool-Reaktor mit integrierten Prozessmodulen und Softwaresteuerung. Zu den Merkmalen und Fortschritten gehören Substratschrittverschiebung, Substratgröße/-form-Adapter, erweiterte Gasflusssteuerung und kostengünstige Quellenintegration. Die integrierten Prozessmodule von Producer GT eröffnen neue Möglichkeiten für PV-Zellen und Modulgenerationen. Diese hochmodernen Module bieten höchste Leistung und Flexibilität, die für eine erfolgreiche Produktion in großen Kapazitäten und bei hohem Durchsatz erforderlich sind. Die Prozessmodule ermöglichen die Abscheidung ultradünner Folienmaterialien und die präzise Steuerung der Schichtdicke und Zusammensetzung von PV-Material. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT kann auch die Herstellung von Doppel- und Dreifachknotenpunkt Thin Film Solarzellen und Modulen mit ausgezeichneter Effizienz ermöglichen. Die Software-Steuerungsplattform ermöglicht auch den fortschrittlichen Betrieb in Kombination mit den Prozessmodulen. Dies umfasst sowohl den manuellen als auch den automatisierten Betrieb mit Echtzeit-Prozessüberwachung, Fehlerbehebung und Diagnose. Das Vollautomatisierungssystem ermöglicht einen schnelleren Durchsatz, der die Produktionskosten umkehren, die Erträge erhöhen und die Kontrolle über alle Parameter für die maximale Leistung gewährleisten kann. AMAT Producer GT bietet in der Synthese zahlreiche Vorteile und Vorzüge, die eine effiziente Herstellung von PV-Materialien ermöglichen. Die Plattform automatisiert den Abscheidungsprozess, reduziert Fehler und Kosten und treibt die Produktion von PV-Zellen und Modulen mit höherer Effizienz voran. Es ist die perfekte Wahl für eine Organisation, die die Produktion von hocheffizienten PV-Zellen und -Modulen optimieren möchte.
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