Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9394900 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist eine Art Hochvakuum-Abscheideausrüstung, die zum Abscheiden dünner Filme auf einer Vielzahl von Substraten verwendet wird. Dieses System kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Metallen, Polymeren und Dielektrika abzuscheiden. Die Einheit besteht aus einer Vakuumkammer, Quellmaterialien, einer Substrathandhabungsmaschine und einem Prozesssteuerungswerkzeug. Die Vakuumkammer ist dort, wo die Dünnschichtabscheidung stattfindet, und sie ist typischerweise aus Edelstahl aufgebaut. Es ist mit verschiedenen Komponenten wie einer Grundplatte, einem Verschlussfeld, einer Gasverteileranlage, einer Quellenversorgung und einem Vakuummodell ausgestattet. Die Quellmaterialien werden innerhalb der Quellenversorgung untergebracht und über die Verschlussanordnung dem Substrat zugeführt. Die Substrathandhabungseinrichtung dient zur Übertragung des Substrats von einer Kammer zur anderen und ist sowohl für flache Substrate als auch für Wafer handhabbar. Das Substrat wird üblicherweise auf eine oxidationsbeständige Substrathalterung aufgebracht, die eine kontrollierte Umgebung für die Abscheidung bietet. Darüber hinaus ist das Substrathandhabungssystem mit einer Ausrichteinheit ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Wafer bezüglich des Verschlussarrays für Massenproduktionsläufe genau platziert ist. Die Prozesssteuerungsmaschine dient zur Steuerung des Abscheideprozesses und zur Überwachung der in der Kammer ablaufenden Prozesse. Das Werkzeug ist mit einer automatisierten Steuerung ausgestattet, die die Bedingungen innerhalb der Vakuumkammer, wie Temperatur und Druck, sowie den Materialfluss kontinuierlich überwacht. Durch die Überwachung des Prozesses kann das Modell präzise Anpassungen des Abscheideprozesses vornehmen, um die gewünschte Folie herzustellen. Dieses Gerät ist auch mit einem Bedienfeld für manuelle Einstellungen ausgestattet. AMAT Producer GT ist ein zuverlässiges und robustes System zur Herstellung verschiedener Dünnschichten. Diese vielseitige Einheit kann mit einer Vielzahl von Materialien verwendet werden, um dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten abzuscheiden. Die Prozesssteuermaschine ermöglicht präzise Anpassungen des Abscheideprozesses, was zu extrem gleichmäßigen und wiederholbaren Folien führt. Darüber hinaus kann das Substrat-Handhabungswerkzeug Wafer und Substrate für Massenabscheidungsläufe genau ausrichten, was es zu einem idealen Vorteil für die Herstellung von dünnen Filmen macht.
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