Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616131 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 293616131
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2021
CVD System, 12" 2021 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein reaktiver gasgefüllter Rohrreaktor (RGR) zum Ätzen und Dünnschichtabscheiden. Es ermöglicht eine präzise Steuerung von reaktiven Gasen, Temperaturen, Drücken und Zeiten für die Programmierung einer Reihe von Dünnschichtabscheidungsentwicklungen. Diese RGR ist ideal für die Durchführung einer Reihe von Dünnschichtabscheidungsanwendungen, einschließlich derjenigen, die üblicherweise für die Verarbeitung von Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen verwendet werden. Die Gasliefergeräte von AMAT Producer GT wechseln leicht und schnell zwischen mehreren Gasquellen und halten dabei den gewünschten Betriebsdruck aufrecht. Diese Funktion reduziert den Zeitaufwand für den Wechsel von Prozessgasen zwischen den Durchgängen und ermöglicht einen höheren Durchsatz. Seine Genauigkeit erhöht auch die Gesamtleistung der Entwicklung der Dünnschichtabscheidung. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT hat eine dreifrequente reaktive Ionenätz- (RIE) Stromquelle mit einem einstellbaren Frequenzbereich von 0 - 600 kHz und einer hohen Leistung (> 200 W) Leistung. Dieses Merkmal ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzrate von empfindlichen Substraten mit gleichmäßigen Profilen. Das Temperaturregelungssystem von Producer GT wurde entwickelt, um sichere und konsistente Betriebstemperaturen zu erhalten. Es ist konfiguriert, um die Betriebstemperatur bei Bedarf automatisch einzustellen und kann auf einen Temperaturbereich von 5-400C eingestellt werden. Dieser Temperaturbereichsschutz ermöglicht eine zuverlässige Verarbeitung sowohl für die Dünnschichtabscheidung als auch für das Ätzen. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist mit einer geschlossenen Rückkopplungseinheit entwickelt, um die Strom- und Spannungseinstellungen zum Ätzen und Abscheiden zu überwachen. Diese Maschine passt die Einstellungen kontinuierlich an, um eine optimale Leistung zu erhalten. Darüber hinaus ist der RGR mit einem automatisierten Verschlusswerkzeug ausgestattet, das die Ätzkammer bei Bedarf öffnet und schließt. Dadurch kann das Gut in einer isolierten Atmosphäre arbeiten, was die Gleichmäßigkeit und Kontrolle der atmosphärischen Bedingungen verbessert. Schließlich ist AMAT Producer GT mit einem vollständigen Sicherheitsmodell ausgestattet, das die Betriebsparameter der Kammer überwacht. Diese Ausrüstung gewährleistet die Sicherheit sowohl des Bedieners als auch des Geräts durch die Erkennung gefährlicher Freisetzungen. Es bietet akustische und visuelle Alarme, wenn Abweichungen auftreten. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Producer GT ein hochleistungsfähiger reaktiver gasgefüllter Rohrreaktor, der zur Optimierung von Dünnschichtabscheidungs- und Ätzanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über eine dreifrequente reaktive Ionenätzquelle (RIE), ein Gasüberwachungssystem, eine Temperaturregeleinheit, eine Rückkopplungsmaschine mit geschlossenem Regelkreis, ein automatisiertes Verschlusswerkzeug und eine vollständige Sicherheitseinrichtung. Hersteller GT ist ein zuverlässiges und genaues Gerät zur Verarbeitung von Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen.
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