Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9245892 zu verkaufen

ID: 9245892
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
CVD System, 12" 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein Halbleiterherstellungswerkzeug zur Herstellung komplexer Funktionalitätsscheiben für eine Vielzahl von Anwendungen. Das Werkzeug wurde entwickelt, um die Massenproduktion von integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Komponenten zu ermöglichen. Dieser Reaktor wird für eine Reihe von Verfahren in der Halbleiterindustrie eingesetzt, einschließlich Abscheidung, Ätzen und Oxidation. AMAT Producer GT nutzt eine Cluster-Werkzeugplattform für die Hochdurchsatz- und Hochleistungsfertigung. Das System wurde speziell entwickelt, um den Durchsatz und die Fertigungseffizienz komplexer Halbleiterbauelemente zu verbessern. Das Werkzeug verfügt über eine modulare, einstellbare Kammerarchitektur, die eine Vielzahl von Prozesswerkzeugen aufnehmen kann. Mehrere Prozesswerkzeuge können in einer einzigen Kammer zusammengefasst werden, was eine höhere Produktivität und Flexibilität ermöglicht. Das Tool ist mit erweiterten Steuerungsfunktionen und Fähigkeiten ausgestattet, einschließlich automatischer Rezepteinrichtung, Regelung des geschlossenen Kreislaufs, Bereitstellung von Werkzeugen zur Optimierung des Durchsatzes und programmierbarer Substrathandhabung für höchste Betriebszeiten. Das Werkzeug verfügt über mehrere Arten von Reaktoren, um verschiedene Prozessanforderungen zu bedienen. Dazu gehören Niederdruck chemische Dampfabscheidung (LPCVD) und Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Kammern; Ätzkammern; Oxidationskammern; Inline-Gate-Ätzwerkzeuge; und Polierer für eine Vielzahl von Materialien wie Polysilizium, Wolfram, Oxid, Titannitrid und Nitrid. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT bietet einen integrierten Prozessablauf mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, einschließlich einer Substrat-Last-Lock, Graben-Monitor, kundenspezifische Prozesssteuerungslogik und Fehlermanagement-Funktionen. Das Tool verfügt auch über ein integriertes Wartungs-Tracking-System zur Überwachung der Leistung und ein Subsysteme-Lager für Teile-Staging, Lagerung und Abruf. Produzent GT ist ein fortschrittliches Werkzeug zur Herstellung hochkomplexer Halbleiterbauelemente. Das Werkzeug wurde entwickelt, um den Durchsatz und die Fertigungseffizienz zu maximieren und die effiziente Massenproduktion kritischer Komponenten zu ermöglichen. Die modulare Architektur des Systems und die fortschrittliche Prozesssteuerung machen es zu einem wertvollen Kapital für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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