Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9353809 zu verkaufen
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ID: 9353809
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
CVD System, 12"
Process: Frontier etcher
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein spezialisierter Reaktor zur Abscheidung dünner Filme auf Halbleitermaterialien. Es wird in einer Vielzahl von industriellen und Forschungsanwendungen wie Ätzen, Oxidation, Implantation, Beschichtung, Strukturierung und Abscheidung verwendet. Dieses vielseitige Tool ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen zu liefern, die auf die spezifischen Bedürfnisse seiner Kunden zugeschnitten sind. Die automatisierte Ausrüstung ist einfach zu bedienen und sehr zuverlässig, so dass höchste Leistung und Ergebnisqualität gewährleistet sind. AMAT Producer GT ist ein einzelnes, prozessgesteuertes und chemisch verträgliches Werkzeug, das eine optimale Dünnschichtbildung und präzise Steuerung der Filmparameter ermöglicht. Es ist mit einem fortschrittlichen Prozessoptimierungssystem ausgestattet, das eine einfache Einstellung optimaler Verarbeitungsbedingungen für eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Diese Einheit kann automatisiert werden, um dünne Folien mit einem hohen Maß an Wiederholbarkeit und Präzision zu produzieren, um gleichbleibende Qualität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Das Werkzeug kann konfiguriert werden, um bis zu neun Schichten auf einem einzelnen Wafer mit Geschwindigkeiten von bis zu 5 cm/min zu verarbeiten. Das Werkzeug ist auch in der Lage, verschiedene Substratgrößen von 2-Zoll bis zu 6-Zoll zu handhaben. ANGEWANDTE MATERIALIEN Produzent GT Reaktor ist in der Lage, hochpräzise, gleichmäßige Dünnschichtabscheidung für eine Vielzahl von Substraten einschließlich Siliziumdioxid, Silizium, Glas, Aluminium und anderen Metallen bereitzustellen. Aufgrund der Verfügbarkeit einer breiten Palette von Chemie kann das Werkzeug fast jede Art von Material verarbeiten. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer variablen Druckkammer ausgestattet, so dass Benutzer die Umgebung für verbesserte Dünnschichteigenschaften anpassen können. Diese Kammer kann auch für Umgebungs- oder Niedertemperaturabscheidungsprozesse eingestellt werden. Das Werkzeug ist auch mit einem einzigartigen Überlagerungsgenauigkeitswerkzeug ausgestattet, das gleichmäßige dünne Filme mit einer vorhersagbaren Überlagerungsleistung ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass die Geräteeigenschaften mit den in den Konstruktionsanforderungen angegebenen übereinstimmen. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einer partikelarmen Umgebung ausgestattet, die das Risiko einer Kontamination reduziert. Producer GT ist ein fortschrittliches Tool mit einer Vielzahl von Funktionen, mit denen Benutzer ihre bevorzugten Verarbeitungsergebnisse erzielen können. Mit seinem effizienten Betrieb, zuverlässiger Leistung und vielseitigen Konfigurationen ist das Werkzeug eine ausgezeichnete Wahl für Dünnschichtabscheidungsanwendungen.
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