Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296916 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9296916
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
CVD System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein Reaktortyp, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es handelt sich um ein CVD-Werkzeug (Chemical Vapor Deposition), das entwickelt wurde, um Ultratieftemperaturschichten aus dielektrischem Material auf Substraten abzuscheiden. Der Reaktor verwendet eine proprietäre Induktionsheizplattform und eine Niederdruck-Prozesskammer, um eine sichere, wiederholbare Filmabscheidung mit ausgezeichneter thermischer Leistung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Werkzeug für einfache Bedienung und ausgezeichneten Durchsatz ausgelegt. AMAT Producer GT ist mit einem Hochleistungselektronikgenerator, einer Induktionsspule und einer kontrollierten Vakuumumgebung ausgestattet. Innerhalb der Reaktorkammer wird ein Plenum zur Verteilung von Prozessgas verwendet. In der Praxis erfolgt die Abscheidung, wenn das Substrat in einem optimalen Abstand von der Induktionsspule angeordnet und innerhalb der Reaktorkammer gehalten wird. Nach Aktivierung der Induktionsspule wird Prozessgas in die Kammer eingeleitet, wodurch eine Niederdruckumgebung entsteht. Zwischen dem Substrat und der Induktionsspule wird dann ein Plasma erzeugt, das die notwendige Wärme und Energie bereitstellt, um dünne Filme auf dem Substrat abzuscheiden. APPLIED MATERIALS Producer GT wurde entwickelt, um dielektrische Dünnschichten bei niedrigen Substrattemperaturen konsequent abzuscheiden. Die Filmabscheidungsraten werden durch die Zugabe einer HF-Vorspannung zur Induktionsspule erhöht, die zur Stabilisierung der Elektronenemission von der Substratoberfläche beiträgt. Der Hersteller hält auch Temperaturen von bis zu 40 ° C, so dass eine gute Folienfaceting und ausgezeichnete dichte konforme Abscheidung. Darüber hinaus ist das Werkzeug auch in der Lage, die Skalierung zu verarbeiten und bietet wiederholbare Prozessleistungen über eine Vielzahl von Kammergrößen. Dadurch kann das Werkzeug bei der Herstellung von beliebigen kleinen oder großen Substraten eingesetzt werden. Als zusätzlichen Bonus bietet der Produzent eine beeindruckende Kapazität für die Ablagerung mehrerer dünner Filme in einem Verarbeitungszyklus, was die Produktivität verbessert und die Kosten senkt. Kurz gesagt, Producer GT ist ein robustes und zuverlässiges CVD-Werkzeug, das für hervorragende thermische Leistung, Benutzerfreundlichkeit und ausgezeichneten Durchsatz entwickelt wurde.
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