Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293822848 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reaktor zur Abscheidung von dünnen Schichten aus siliziumhaltigen Materialien wie Polysilizium, Siliziumnitrid und Siliziumdioxid. Der Reaktor wurde entwickelt, um die fortschrittliche Verarbeitungsleistung zu optimieren und eine hohe Gleichmäßigkeit und erstklassige Folienqualität bei Geschwindigkeiten von bis zu 1000 nm/Stunde zu liefern. Die duale HF-Quellkonfiguration (split cored) ermöglicht eine flexible Leistungs- und Ratenkontrolle des abgeschiedenen Materials, um den Anforderungen spezifischer Anwendungen gerecht zu werden. Die große Suszeptorgröße und die verbesserte Gleichmäßigkeitskontrolle machen es ideal für die Ablagerung von Material auf großen Substraten wie Wafern und ermöglichen dennoch eine präzise Einstellung der Geräteabmessungen. Die Kammer ist in zwei vertikale Prozesszonen mit unabhängiger Druckregelung und getrennten Vakuumniveaus für die obere und untere Zone unterteilt. Diese Konstruktion ermöglicht die Abscheidung von Material mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten sowie verhindert Kreuzkontaminationen zwischen verschiedenen Prozessen. Darüber hinaus ist der Reaktor mit fortschrittlichen vertikalen Kühlfunktionen ausgelegt, um eine gleichmäßige Temperaturregelung in der gesamten Kammer und zwischen den beiden vertikalen Prozesszonen zu gewährleisten. Eine fortschrittliche CLT-Ausrüstung (Closed-Loop Testing) misst und passt Prozessparameter schnell in Echtzeit an und sorgt so für präzise Folienqualität und sehr hohe Gleichmäßigkeit. Das PECVD-System ist mit einer Vielzahl von Optionen für verschiedene Anwendungen, einschließlich Seitenwand Abscheidung, hohe Rate Abscheidung, Low k Abscheidung, Planarisierung, Etch/Streifen und Multi-Layer/Stack-Abscheidung. Darüber hinaus kann das Gerät weiter mit fortschrittlichen Gasversorgungssystemen ausgestattet werden, wie der DLF-Option (Dynamic Low Fluoride), die eine mögliche Kontamination minimiert. Kurz gesagt, AMAT Producer GT PECVD Reaktor ist eine fortschrittliche Maschine mit einfach zu bedienenden Kontrollen und ausgezeichnete Gleichmäßigkeitskontrolle, entworfen für hervorragende Abscheidungsleistung und liefert erstklassige Folienqualität mit der Flexibilität, spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen.