Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296911 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT reactor ist eine fortschrittliche Verarbeitungsanlage, die von AMAT entwickelt wurde, um höhere Produktionsausbeuten im Halbleiterherstellungsprozess zu erzielen. Der Reaktor vereint Gasförderung, thermisches Management und angewandte Plasmatechnologien zu einer integrierten Lösung zur Steuerung von Si-basierten Ätzprozessen. Kernstück des AMAT Producer GT Reaktors ist die Multi-Gas-Lieferung. Der Reaktor ist in der Lage, bis zu acht verschiedene Gase zuzuführen, was seinen Einsatz in mehrstufigen Ätzprozessen ermöglicht, die die sequentielle oder gleichzeitige Abgabe von fluorhaltigem, edlem, dotiertem und anderen reaktiven Spezies beinhalten. Durch die Verwendung von Advanced Mass Flow Controllern (AMFCs) ist es möglich, eine überlegene Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über das gesamte Substrat zu erreichen. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Softwarearchitektur des APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktors eine präzise Kontrolle über Parameter wie Plasmaleistung, Prozessrezept usw. Der GT-Reaktor des Herstellers verfügt zudem über ein integriertes Wärmemanagement, das nicht nur eine verbesserte Prozesssteuerung, sondern auch eine verbesserte Energieeffizienz ermöglicht. Sein fortschrittliches Positionierungssystem verfügt über aktive optische Ausrichtung und erweiterte Substratunterstützung, so dass es für Substrate unterschiedlicher Größe und Konfigurationen geeignet ist. Seine flüssigen und schnell zyklischen Temperaturregelungssysteme sind so konzipiert, dass sie eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit über das Substrat und für die gesamte Reaktorkammer bieten, Facettenprobleme verhindern und längere Läufe bei höheren Prozessgeschwindigkeiten ermöglichen. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT reactor basiert auf der bewährten Elektronenzyklotronresonanz (ECR) des Unternehmens. Dadurch kann der Reaktor höhere Leistungsdichten erreichen, was zu verbesserten Ätzraten und besserer Filmgleichförmigkeit führt. Darüber hinaus bietet die ECR-Quelle auch eine verbesserte Seltengaseffizienz und verbessert die Verarbeitung bei gleichzeitiger Reduzierung von Wafer-Defekten. Der AMAT Producer GT Reaktor ist eine hochentwickelte und vielseitige Ätzeinheit, die sich ideal für die Halbleiterforschung und -produktion eignet. Mit seinen fortschrittlichen Hardware- und Softwarefähigkeiten ist der Reaktor in der Lage, nicht nur höhere Produktionserträge zu erzielen, sondern auch die Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Prozesse zu verbessern. Die integrierte Wärmemanagementfunktion der Maschine sorgt zudem für eine verbesserte Energieeffizienz, was zu reduzierten Kohlenstoffemissionen führt.