Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293618158 zu verkaufen
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ID: 293618158
Weinlese: 2008
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
EFEM
Load port
PC
(2) KAWASAKI 3NX510B-D001 Desk handlers
KAWASAKI 30D61I-A003 Holding controller
Transformer
BROOKS Mag8 0190-25011 Robot
Robotic arm
(3) RPS 3L
(3) Apex 3013 RF Generator
(3) Heaters
(3) Chambers
(3) Power boxes missing
Gas configuration:
NF3 1000sccm
NF3 1000sccm
Ar 5000sccm
(2) O2 15000sccm
C3H6 3000sccm
He 5000sccm
He 15000sccm
N2 15000sccm
Ar 15000sccm
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist eine fortschrittliche thermische Verdampfer Ausrüstung entwickelt, um dünne Filme auf einer Vielzahl von Substraten abzuscheiden. Es wird hauptsächlich in der Herstellung elektronischer Materialien und Komponenten verwendet. AMAT Producer GT bietet exzellente Zuverlässigkeit und Präzision für die Abscheidung von dünnen Folien nach den genauen Angaben des Herstellers. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Silizium, Aluminium, Titan und andere Metalle abzuscheiden. Der Hersteller GT verwendet einen Elektronenstrahlverdampfer, um hochgleichmäßige dünne Filme auf dem Substrat abzuscheiden. Der Elektronenstrahl arbeitet, indem er das Quellenmaterial in einem Elektronentiegel erhitzt und dann einen Elektronenstrahl abwirft, um Material auf das Substrat zu verdampfen. Der Strahl kann auf einen Teil des Substrats fokussiert werden, um dickere Filme abzuscheiden, oder der Strahl kann über mehrere Bereiche verteilt werden, um gleichmäßigere Filme zu erzeugen. Der Strahl ist in der Lage, Filme mit Dicken von Sub-Nanometer bis Mikrometer zu produzieren. Die Temperatur des Ausgangsmaterials wird durch einen Graphit-Suszeptor gesteuert, der durch Hochfrequenzinduktion erwärmt wird. Diese Kombination aus Hochfrequenz-Induktion und Suszeptor-Heizung sorgt für präzise Temperaturregelung und gleichmäßige Abscheidung. Der Hersteller GT umfasst auch eine Vakuumeinheit zum Evakuieren der Kammer und eine Grundplatte zum Montieren des Substrats. Die Vakuummaschine umfasst eine Turbopumpe, einen Schalldämpfer und eine aktive mechanische Pumpe zur koaxialen Evakuierung. Dadurch kann der Evakuierungsprozess exakt gesteuert werden, um die gewünschte Atmosphäre für die Filmabscheidung aufrechtzuerhalten. Schließlich ist AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT mit einem hochauflösenden Massenspektrometer zur Lecksuche und einem redundanten Backup-Tool zur verbesserten Prozesssteuerung ausgestattet. Das hochauflösende Massenspektrometer ermöglicht die genaue Bestimmung des gesamten Prozessdrucks, um eine präzise Prozesswiederholbarkeit zu ermöglichen. AMAT Producer GT ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger thermischer Verdampfer, der Präzision und Gleichmäßigkeit für die Abscheidung von dünnen Folien bietet. Es ist ideal für die Herstellung von anspruchsvollen elektronischen Materialien und Komponenten.
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