Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9170202 zu verkaufen

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor ist ein technologisch fortschrittliches Gerät für Halbleiter- und verwandte Industrien. Dieses Werkzeug hilft bei der Herstellung hochwertiger Materialien und Komponenten, die für die Herstellung heutiger Technologien unerlässlich sind. Der Produzent GT ist ein chemischer CVD-Reaktor mit einem Durchmesser von 240mm und 350mm. Es ist mit einer Hochleistungs-Twin Chamber Tunnel (TCT) -Quelle ausgestattet, die die Herstellung einheitlicher und wiederholbarer Materialeigenschaften ohne thermische Gradienten von Teilen des Substrats ermöglicht, die der Quelle im Vergleich zu Bereichen am weitesten von der Quelle entfernt sind. Der Reaktor wird mit der Intelli- Match™ Advanced Source Matching and Modeling Technologie gebaut, die hilft, die Reaktorleistungsregelung zuverlässig zu verwalten. Es wird eine automatische Frequenzquellenanpassung zwischen Primär- und Sekundärkammer sowie eine Impedanzregeleinrichtung für einen sicheren Betrieb ermöglicht. AMAT Producer GT verfügt über ein sehr effizientes Gasfördersystem, mit einer Gaszerstäubung und Injektionsportal für eine genau kontrollierte Gaszusammensetzung und -lieferung. Der Reaktor weist außerdem einen verstellbaren Kammerdruck im gesamten Bereich von rauem Vakuum bis Atmosphärendruck auf, um gleichmäßige Prozessbedingungen über das gesamte Wafersubstrat zu erzielen. Es ist mit erweiterten Temperaturkontrollfunktionen ausgestattet, mit einer erweiterten Temperaturrückkopplungssteuereinheit und Wachstumskontrollfunktionen der Reaktionsschicht. Seine thermische Prozesskammer verfügt über eine robuste Temperaturüberwachung und -steuerung mit einer Genauigkeit von ± 2 ° C. Der Reaktor verfügt auch über eine Hochspannungs, Gleichstrom (HV-DC) Quelle Leistungsmaschine, entworfen, um Plasmastörungen zu minimieren und Elektronen-Zyklotron-Resonanzwellen zu erzeugen, die Verbesserung der Plasmabegrenzung und Homogenität. Seine HV-DC-Stromquelle bietet auch maximale Leistungsdichtesteuerung und maximale Plasmadichte für schnellere Abscheideraten. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT Reactor ist in der Lage, eine breite Palette von Prozesschemien zu betreiben, darunter Filme wie TiN, Al2O3, SiO2, PECVD und Photoresist-Entfernung, sowie thermische Prozesse wie thermische Oxidation, Diffusion und Glühen. Sie ist auch in der Lage, Batch-Prozesse in Verbindung mit der Ventura® Central Platform von APPLIED MATERIALS durchzuführen. Das Tool ist mit einer leistungsstarken Software-Suite ausgestattet, die die Produktivität verbessert und verbesserte Diagnosefunktionen ermöglicht. Es ist in die AMAT/APPLIED MATERIALS PreQual Software Suite integriert und ermöglicht eine schnelle und effiziente Prozessentwicklung und Produktion von hochwertigen Folien. TheProducer GT wurde entwickelt, um Ultra-High-Volume-Fertigung mit maximalem Durchsatz und überlegener Zuverlässigkeit zu unterstützen - auch in den anspruchsvollsten Umgebungen. Es ist auch für den Einbau in gefährliche Bereiche zertifiziert, mit einer ISO Klasse 5 Reinraumbewertung für gefährliche Umgebungen. Dieses zuverlässige Werkzeug ist in der Lage, konsequent herausragende Ergebnisse für seine Anwender zu erzielen.