Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9198996 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9198996
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
CVD System, 12"
Number of loadports: 4
Factory interface model: 5.4
AMHS Configuration: OHT
Chamber A:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Chamber B:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Chamber C:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Computers:
FE Computer type: FES
FI Computer type: FIS
RT Computer type: CL7
Misc hardware:
FI Robot type: KAWASAKI Track
Buffer robot type: GT
Remote AC: 208V
Heat exchanger 1: Unisem
FI Robot blade type: Aluminum
Buffer robot blade type: Ceramic
LCF/Wafer detect: LCF
Roll around monitors: (2)
Ozone cabinet: Inusa
Number of ozone generators: 3 MKS
Gas panel configurations:
Gas box type: 1-1/8 C-Seal surfacemount
Stick 1: NF3 - 15000sccm
Stick 2: AR - 15000sccm
Stick 3: N2 - 5000sccm
Stick 4: N2 - 50000sccm
Stick 5: He - 30000sccm
Liquid 1: TEOS - 7g/min
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein hochentwickeltes Abscheidungssystem, das eine Reihe von anpassbaren Lösungen für Abscheideprozesse bietet. Diese Reaktionskammer verfügt über eine vollständig flexible Quellarchitektur, so dass Ablagerungsrezepte auf die spezifischen Kundenbedürfnisse zugeschnitten werden können. AMAT Producer GT wurde entwickelt, um eine präzise Kontrolle über die Substrattemperatur, den Druck und die Durchflussrate zu gewährleisten und dabei kontinuierliche Bahnabscheidungstechniken zu verwenden. Die Hauptstruktur von APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktionskammer besteht aus einer hochwertigen, metallischen Vakuumkammer, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Substratgrößen und Formen zu unterstützen. Innerhalb der Vakuumkammer befindet sich die Quelle, die aus einem Hochleistungs-HF-Generator und Tiegel besteht. Der Produktionsreaktor verfügt auch über fortschrittliche Scantechnologien mit Auto-Alignment-Funktionen, die eine präzise Steuerung und gleichmäßige Abscheidung bieten. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Abdeckung aller Substrate, unabhängig von Form und Größe. HF-Generator und Tiegel sind mit einer Abscheidekammer verbunden, die eine CVD-Quelle zur Herstellung aluminisierter Folien verwendet. Die CVD-Quelle liefert eine sehr reichliche Quelle für das filmbildende Gas, so dass extrem dünne Filme gleichzeitig auf mehreren Substraten abgeschieden werden können. Darüber hinaus ist die Abscheidekammer in der Lage, extrem niedrige Substrattemperaturen bis zu 20oC zu erzielen. Dies ermöglicht eine verbesserte Folienqualität mit der Möglichkeit hoher Seitenverhältnisabscheidungen und verminderter Kontaktwiderstand. Um die Effizienz und Produktivität zu maximieren, ist Producer GT mit einer Reihe fortschrittlicher Werkzeuge ausgestattet. Der Bordroboterarm ist so konzipiert, dass Substrate schnell be- und entladen werden können, wodurch Ausfallzeiten zwischen den Prozessen minimiert werden. Die Reaktionskammer weist außerdem ein Bahntransportsystem auf, wobei gleichzeitig eine volle Substratrolle be- und entladen werden kann. Dies erhöht den Durchsatz und ermöglicht die Handhabung größerer Losgrößen in einem Lauf. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT eine hochentwickelte und anpassbare Lösung, die Präzisionsablagerungen und erhöhte Produktivität bereitstellen kann. Diese Reaktionskammer verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Technologien wie automatisiertes Scannen, CVD-Quelle, Roboterarm und Bahntransportsystem, so dass sie auf spezifische Prozessanforderungen zugeschnitten werden kann.
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