Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9206068 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT, auch bekannt als PGT, ist ein Werkzeug zur Verarbeitung von Siliziumscheiben. Es ist ein modularer Reaktor, der eine Cluster-Plattform nutzt und viele Funktionen bietet. AMAT Producer GT besteht aus drei Hauptkomponenten: der Process Step Chamber (PSC), dem Central Controller und dem Transfer System. Das PSC ist das Herzstück des Systems und wird vom Central Controller gesteuert. Es ist eine zylindrische Kammer, in der die gesamte Verarbeitung durchgeführt wird. Im Inneren umgeben mehrere thermisch isolierte Gasinjektoren den die Wafer aufnehmenden Flansch. Die Injektoren können Temperatur und Druck in der Kammer präzise steuern, wodurch Prozesse wie Oxidation und Ätzen präzise gesteuert werden können. Zur Übertragung der Wafer in und aus dem PSC kann der APPLIED MATERIALS Producer GT mit einer Reihe verschiedener Transfersysteme ausgestattet werden. Ein Standard-Transfersystem umfasst Eingangsanschlüsse, Loadlocks und Wafer Changer. Es gibt auch eine Vielzahl von automatisierten und manuellen Transfersystemen zur Verfügung. Das PGT ist in der Lage, sowohl 300 als auch 200mm Wafer zu verarbeiten und kann eine breite Palette von Wafertypen akzeptieren und verarbeiten. Es bietet einen breiten Verarbeitungstemperaturbereich von 50-1200 Grad Celsius und einen Druckbereich von 1-50 Torr. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen wie Oxidation, Ätzen, Abscheiden und mehr. Der Hersteller GT bietet zudem dank seiner präzisen Steuerungsfunktionen, automatisierten Transfersystemen und gut entwickelten Sensoren eine hervorragende Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit. Dies ermöglicht gleichbleibend hohe Ausbeuten und Ausbeuten über verschiedene Prozesse und Wafertypen hinweg. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein großartiges Werkzeug für eine Vielzahl von Halbleiter- und Photovoltaikanwendungen. Es ermöglicht eine kostengünstige und zuverlässige Verarbeitung einer Vielzahl von Wafertypen und bietet eine hervorragende Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Das Werkzeug ist modular und leicht anpassbar, so dass es für den Einsatz in der Produktion und F & E-Anwendungen geeignet ist.
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