Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9227461 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor ist ein branchenführendes integriertes Single-Wafer induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) -Gerät für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit einer ICP-Quelle und einer Effusionszelle bietet dieser kompakte Reaktor einen hohen Durchsatz von bis zu 80 Wafern pro Stunde und eine präzise Prozesssteuerung für robuste und zuverlässige Gerätestrukturen. Das System verfügt auch über eine proprietäre Wafer-Handling-Technologie, Aerosol Jet Coater, die überlegene Konsistenz und Homogenität für Decke Beschichtungen und Ätzraten bietet. AMAT Producer GT ICP-Quelle wurde für optimierte Prozessleistung und Ertragskontrolle entwickelt, mit einer maßgeschneiderten Spulentechnologie, die Leistungsschwankungen minimiert und gleichzeitig die Plasmagleichförmigkeit zwischen Wafern erhöht. Dieses Gerät verfügt auch über einen einzigartigen automatischen Leistungssteuerungsalgorithmus (APC), um die Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit weiter zu verbessern. Darüber hinaus ermöglicht die Hochfrequenzmodulationsfähigkeit der Quelle eine Feinabstimmung der Plasmaverteilung zur weiteren Verbesserung der Prozessvorhersagbarkeit und Wiederholbarkeit. Der Aerosol Jet Coater verwendet eine proprietäre Tröpfchentechnologie, um Dünnschichtimplantate gleichmäßig auf beiden Seiten des Wafers abzulegen. Diese innovative Technologie ermöglicht hochpräzise, einstellbare Folienstärken bis 4 μ m bei einer Gleichmäßigkeit von über 2%. Darüber hinaus verfügt es über einstellbare Flächendeckungsniveaus, die eine exakte Prozesssteuerung der Folienabscheidung ermöglichen. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT-Prozessor verfügt auch über eine Multi-Tube-Effusionszelle für kontrollierte Elementquelle Homogenität, um Grenzflächenwiderstand und Verbindungsleckage zu reduzieren. Die Maschine verfügt außerdem über eine Abgaskammer, die eine optimale Gasströmung gewährleistet, um eine maximale Filmgleichförmigkeit zu erreichen und gleichzeitig die Eliminierung aller Partikel zu gewährleisten. Produzent GT Reaktor ist gut geeignet für eine breite Palette von nanoskaligen Fertigungsanwendungen, einschließlich MEMS, Nanostrukturen, Metalloxid-Halbleiter, nanostrukturierte Materialien und optoelektronische Materialien. Das Werkzeug kann in eine modulare Werkzeugkonfiguration integriert werden, um eine End-to-End-Prozesslösung für eine Vielzahl von Anforderungen an die Herstellung von Halbleiterbauelementen anzubieten. Der AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktor ist mit seiner überlegenen Prozesssteuerung, seinen funktionsreichen Fähigkeiten und einer engen Gleichmäßigkeitskontrolle die ideale Wahl für die Herstellung modernster nanoskaliger Geräte.