Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9233074 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9233074
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12"
Control system: Device net protocol
EFEM Communication: SFEM
Wafer sliding detection sensors: LCF
Signal tower: Common SPEC
Door interlock sensor
Pressure difference interlock: LL->TM->Chamber
Slit valve:
L-Motion
No viton o-ring
Air regulator
EYE Mark display on M/C: LP1, LP2
Chamber A / B / C
Gas box
Turbo pump
RPC
RF Generator
Match
Electric valve & Load lock & Tm installed
TM Blade: ALN
No o-ring in chamber region
No gate valve o-ring & Air regulator
Missing / Detaching parts:
(6) HARP AIN Heaters P/N: 0010-59796
Q-Code Q400-168177
FI. RT, FE Computer
Practical preventing system in EFEM: 0.065µm Filter / Venting air
Process: HARP, BPSG, ARC, P-TEOS
Blue electrostatic chuck: Low temp 300° C
Turbo screen location: Below chamber
Heat exchanger: SUS Connector & Power vaccine
Upgrade list pin mechanism: Dual lock list pin
RF Reflect filter system / BIAS: Auto match
Heat exchanger coolant: ZT180
Chamber lift speed: Stepping motor
ESC Water leak
RF Generator reflect power: Below set point 0.5%
Input / Output port stage: OHT
FOUP Capability: (25) Slots
System monitor: LCD
Remote monitor: Keyboard, LCD
Gas line: 5- RA surface mounted c-seal
Gas configuration: C3H6, O2, NF3
Gas line polishing: E/P 5-RA
Filter: SUS316 SS/NF3 Hastelloy
Gas box temperature: Display by digital gauge
Negative voltage MFC signal: Display interlock
Chamber pump: SAMSUNG
Load lock & TM Pump
Tempered type: Capacitance manometer for chamber pressure control
Pressure transducer for chamber: ATM Switch
TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve
General power & UPS Power: AC Rack design change for VDP
Ground for D-net: Chassis
Circuit safeguard: Circuit breakers
Internal utility line color: SEMI Standard
Head exchanger: Pressure control
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein vertikaler elektrochemischer Abscheidungsreaktor, der entwickelt wurde, um Abscheidungsprozesslösungen für die Herstellung von fortschrittlichen Schaltkreisen anzubieten. Dieser Reaktor ist ein geschnabeltes, zylindrisches Gefäß, das entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Abscheidungsprozesse auf einer ganzen Reihe von Substraten wie Aluminium, Kupfer und Titan bereitzustellen. Es kommt in zwei Modellen, AMAT Producer GT-800 und APPLIED MATERIALS Producer GT-1000, und verfügt über eine abstimmbare Prozesskammer für mehrere Prozessfähigkeiten wie Kupferplattieren, stromlose Kupferplattierung, ALD und CVD-Prozesse. Das Design basiert auf einer Becherarchitektur mit hohem Seitenverhältnis, die ein vertikales Gefäß, einen Kondensator mit geringer thermischer Masse und eine integrierte Substratunterstützung kombiniert. Diese Geometrie schafft einen gleichmäßigen, skalierbaren Prozess mit niederohmigen elektrischen Kontakten, die mit einem gleichmäßigen Raum zwischen den Kontakten und den Wänden des Reaktionsgefäßes in Kontakt stehen. Produzent GT kommt auch mit fortschrittlichen anpassbaren Software- und Hardware-Optionen für genaue Prozesskontrolle. Dies ermöglicht eine einfache Bedienung und reproduzierbare galvanische Ergebnisse mit realistischen und konsistenten Prozessparametern. Die Prozesskammer ist durch strenge Prozesskontrollen und Vakuumabwaschverfahren vor Verschmutzung geschützt. Das Design kombiniert eine optimierte, benutzerfreundliche Flüssigkeitsabgabeeinrichtung mit einer ausgeklügelten Pumpensteuerungslogik, die präzise, konsistente, wiederholbare Galvanisierungslösungen bei hohem Durchsatz ermöglicht. Der Reaktor ist mit einem fortschrittlichen Temperaturmanagement für die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Programmen sowie einem integrierten Feuchtigkeitskontrollsystem ausgestattet, das während des Prozesses eine kontrollierte Feuchtigkeit gewährleistet. Die erweiterte Steuereinheit bietet auch Echtzeit-Überwachung des Prozesses mit Messungen in Zeit, Temperatur, Druck, Dicke und anderen kritischen Prozessparametern. Die Vielfalt der anpassbaren Optionen auf AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktor bietet außergewöhnliche elektrochemische Abscheidung Lösungsfähigkeiten. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien aus einer breiten Palette von Substraten mit außergewöhnlicher Prozesskontrolle abzuscheiden. Die fortschrittliche, benutzerfreundliche Maschine bietet mehr Flexibilität und wiederholbare Ergebnisse.
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