Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9233074 zu verkaufen

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ID: 9233074
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
CVD System, 12" Control system: Device net protocol EFEM Communication: SFEM Wafer sliding detection sensors: LCF Signal tower: Common SPEC Door interlock sensor Pressure difference interlock: LL->TM->Chamber Slit valve: L-Motion No viton o-ring Air regulator EYE Mark display on M/C: LP1, LP2 Chamber A / B / C Gas box Turbo pump RPC RF Generator Match Electric valve & Load lock & Tm installed TM Blade: ALN No o-ring in chamber region No gate valve o-ring & Air regulator Missing / Detaching parts: (6) HARP AIN Heaters P/N: 0010-59796 Q-Code Q400-168177 FI. RT, FE Computer Practical preventing system in EFEM: 0.065µm Filter / Venting air Process: HARP, BPSG, ARC, P-TEOS Blue electrostatic chuck: Low temp 300° C Turbo screen location: Below chamber Heat exchanger: SUS Connector & Power vaccine Upgrade list pin mechanism: Dual lock list pin RF Reflect filter system / BIAS: Auto match Heat exchanger coolant: ZT180 Chamber lift speed: Stepping motor ESC Water leak RF Generator reflect power: Below set point 0.5% Input / Output port stage: OHT FOUP Capability: (25) Slots System monitor: LCD Remote monitor: Keyboard, LCD Gas line: 5- RA surface mounted c-seal Gas configuration: C3H6, O2, NF3 Gas line polishing: E/P 5-RA Filter: SUS316 SS/NF3 Hastelloy Gas box temperature: Display by digital gauge Negative voltage MFC signal: Display interlock Chamber pump: SAMSUNG Load lock & TM Pump Tempered type: Capacitance manometer for chamber pressure control Pressure transducer for chamber: ATM Switch TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve General power & UPS Power: AC Rack design change for VDP Ground for D-net: Chassis Circuit safeguard: Circuit breakers Internal utility line color: SEMI Standard Head exchanger: Pressure control 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein vertikaler elektrochemischer Abscheidungsreaktor, der entwickelt wurde, um Abscheidungsprozesslösungen für die Herstellung von fortschrittlichen Schaltkreisen anzubieten. Dieser Reaktor ist ein geschnabeltes, zylindrisches Gefäß, das entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Abscheidungsprozesse auf einer ganzen Reihe von Substraten wie Aluminium, Kupfer und Titan bereitzustellen. Es kommt in zwei Modellen, AMAT Producer GT-800 und APPLIED MATERIALS Producer GT-1000, und verfügt über eine abstimmbare Prozesskammer für mehrere Prozessfähigkeiten wie Kupferplattieren, stromlose Kupferplattierung, ALD und CVD-Prozesse. Das Design basiert auf einer Becherarchitektur mit hohem Seitenverhältnis, die ein vertikales Gefäß, einen Kondensator mit geringer thermischer Masse und eine integrierte Substratunterstützung kombiniert. Diese Geometrie schafft einen gleichmäßigen, skalierbaren Prozess mit niederohmigen elektrischen Kontakten, die mit einem gleichmäßigen Raum zwischen den Kontakten und den Wänden des Reaktionsgefäßes in Kontakt stehen. Produzent GT kommt auch mit fortschrittlichen anpassbaren Software- und Hardware-Optionen für genaue Prozesskontrolle. Dies ermöglicht eine einfache Bedienung und reproduzierbare galvanische Ergebnisse mit realistischen und konsistenten Prozessparametern. Die Prozesskammer ist durch strenge Prozesskontrollen und Vakuumabwaschverfahren vor Verschmutzung geschützt. Das Design kombiniert eine optimierte, benutzerfreundliche Flüssigkeitsabgabeeinrichtung mit einer ausgeklügelten Pumpensteuerungslogik, die präzise, konsistente, wiederholbare Galvanisierungslösungen bei hohem Durchsatz ermöglicht. Der Reaktor ist mit einem fortschrittlichen Temperaturmanagement für die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Programmen sowie einem integrierten Feuchtigkeitskontrollsystem ausgestattet, das während des Prozesses eine kontrollierte Feuchtigkeit gewährleistet. Die erweiterte Steuereinheit bietet auch Echtzeit-Überwachung des Prozesses mit Messungen in Zeit, Temperatur, Druck, Dicke und anderen kritischen Prozessparametern. Die Vielfalt der anpassbaren Optionen auf AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktor bietet außergewöhnliche elektrochemische Abscheidung Lösungsfähigkeiten. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien aus einer breiten Palette von Substraten mit außergewöhnlicher Prozesskontrolle abzuscheiden. Die fortschrittliche, benutzerfreundliche Maschine bietet mehr Flexibilität und wiederholbare Ergebnisse.
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