Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235066 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor ist eine fortschrittliche, fortschrittliche Materialabscheidungskammer (AMD), die für die flache Trenchisolierung (STI), Barrieremetall und Passivierungsschichten bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Diese fortschrittliche Technologie, kombiniert mit einem hohen Grad an Fertigungsgenauigkeit, Genauigkeit und Robustheit, macht den AMAT Producer GT Reactor zu einer äußerst zuverlässigen und effizienten Abscheidungsausrüstung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT Reactor enthält mehrere hochmoderne Funktionen und Funktionen. Das System bietet eine hohe Produktionsrate und ist in der Lage, mehrere komplexe Prozesse parallel auszuführen. Zu den Hauptkomponenten der Einheit gehören eine automatisierte Abscheidekammer, ein Suszeptor und Wafertransporter, eine epi-ready Kammer, ein Zweikammer-Mikrowellengenerator und mehrere zusätzliche Zubehörteile. Der Reaktor arbeitet, indem eine Siliziumscheibe einer Hochvakuumumgebung ausgesetzt wird. Ein Suszeptor hebt den Wafer auf der Fertigungsstufe in eine Prozeßposition, während ein Wafertransporter den Wafer von der Bühne zurück in den Lagerraum befördert. Suszeptor, Wafertransporter und Produktionsstufe werden alle elektrisch angetrieben. In der epi-ready Kammer findet der ultimative Abscheidungsprozess statt. Eine präzise Fördermaschine innerhalb der Kammer liefert Material - wie Silizium, Siliziumdioxid oder Silizid - aus dem Ausgangsmaterialbehälter auf einen beheizten Suszeptor in Form eines dünnen, gleichmäßigen Films. Dieses abgeschiedene Material wird dann poliert, geätzt oder anderen Prozessen unterworfen, die gewünschte Merkmale auf dem Wafer erzeugen. Der Mikrowellengenerator ist die anspruchsvollste Komponente im Werkzeug. Es wird verwendet, um Mikrowellenenergie zu erzeugen, um den Wafer genau zu erwärmen und eine hochgenaue und konsistente Dünnschichtabscheidung zu ermöglichen. Der Zweikammer-Mikrowellengenerator für Producer GT Reactor umfasst vier unabhängige Antennen, zwei Mikrowellen-Steuergeräte und mehrere HF-Quellen. Der Mikrowellengenerator sorgt auch für eine sowohl energieeffiziente als auch über das Substrat gleichmäßige Substratheizung mit extrem niedriger Temperatur, wodurch eine thermische Schädigung des Substrats vermieden wird. Weitere erweiterte Merkmale der Anlage umfassen erweiterte Sicherheitsverriegelungen, automatische Kalibrierung der Suszeptor-Höhe und -Temperatur und eine geschlossene Temperaturregelung. All diese Eigenschaften machen AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactor zu einem der fortschrittlichsten und zuverlässigsten Abscheidungssysteme für fortschrittliche Halbleiteranwendungen.