Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251458 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist eine plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), die zur Herstellung von Halbleitermaterialien wie Siliziumoxid, Siliziumnitrid und Low-K-Dielektrika verwendet wird. Es ist ein leistungsfähiges, zuverlässiges Werkzeug, das hochwertige dünne Filme auf Substraten ablegen kann. Das Aluminiumkammerdesign von AMAT Producer GT ermöglicht es, ein einheitliches Plasma über eine große Substratfläche bereitzustellen. Ein Multi-Source-HF-Generator mit einer Leistung von bis zu 500 Watt sorgt für eine präzise Steuerung des auf der Kammer aufgebrachten HF. Dadurch erhält der Anwender eine vollständige Kontrolle über die Abscheidungsparameter, wodurch Folien mit sehr gleichmäßiger Dicke und Zusammensetzung hergestellt werden können. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT erreicht Abscheidetemperaturen von bis zu 250 - 400 ℃ mit einer schnellen Hochlaufzeit, geeignet für eine Vielzahl von Prozessen wie Oxidabscheidung und Oberflächenpassivierung. Sein intuitives Gasstromsteuerungssystem ermöglicht eine Vielzahl von Gaslieferungen und ermöglicht kundenspezifische Dünnschichtrezepte für verschiedene Anwendungen. Produzent GT ist in der Lage, stabiles Plasma über lange Abscheidungsläufe bereitzustellen, minimale Partikel einzuführen und Kammerwanddeposit zu vermeiden. Es sorgt auch für Plasma-Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über alle Substrate und Prozessparameter, so dass es ein geeignetes Werkzeug für die Serienproduktion. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT verfügt über ein sehr robustes Design, um Prozessdrift zu minimieren und den Ertrag für Mehrkammersysteme zu optimieren. Seine fortschrittliche Diagnostik bietet ein schnelles Feedback zur Konsistenz des Waferdurchsatzes und ermöglicht eine überlegene Prozesskontrolle. Darüber hinaus gewährleistet die bordeigene Fehlererkennungs- und Isoliereinheit eine hohe Maschinenverfügbarkeit, wodurch Ausfallzeiten und damit verbundene Kosten reduziert werden. Insgesamt ist AMAT Producer GT ein ideales Werkzeug zur präzisen Abscheidung von dielektrischen und oberflächenpassivierenden Dünnschichten in Großserienproduktion. Seine Aluminiumkammer-Konstruktion in Flugzeugqualität ermöglicht die Erstellung eines präzisen und gleichmäßigen Plasmas auf einem großen Substratbereich. Der Multi-Source-HF-Generator und das integrierte Gas-Durchflusssteuerungstool ermöglichen dem Anwender die vollständige Kontrolle über die Abscheidungsparameter. Darüber hinaus tragen die fortschrittliche Diagnose, die Fehlerisolierung und das robuste Design dazu bei, eine überlegene Prozesskontrolle und eine hohe Modellverfügbarkeit sicherzustellen.