Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251459 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein hochproduktiver 300 mm vertikaler Diffusionsreaktor zur chemischen Dampfabscheidung, ideal für die Herstellung großer Mengen von Dünnschicht-Halbleitermaterialien. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er die Anforderungen an Produktion, Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit in hohem Volumen erfüllt. Die vertikale Geometrie dieses Reaktors gewährleistet einen hohen Durchsatz bei niedrigen Abscheidegeschwindigkeiten und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche. AMAT Producer GT verfügt über ein Hochtemperaturreaktor-Design. Es ist mit drei 6 kW, 800 Ampere HF-Generator-Netzteilen ausgestattet, zusätzlich zu einem dreiachsigen HF-Transformator. Diese Ausrüstung ist ideal für die Abscheidung von Dünnschichtmaterialien wie Silizium, Wolfram, Titan, Tantal, Kupfer und Aluminium. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT wurde speziell entwickelt, um die Gleichmäßigkeit der Schicht zu optimieren. Die Temperatur der Kammer wird eng geregelt und die Kühlung der Gase vor dem Einbringen in die Abscheidekammer reduziert die Kammertemperatur erheblich. Der Reaktor verfügt über ein mehrstufiges Lastverriegelungssystem, das Prozessflexibilität und Stabilität über mehrere Kammern hinweg bietet. Prozessparameter, einschließlich Temperatur, Druck und Gasfluss, können genau eingestellt werden. Es verwendet auch eine Vierkammer-Gasverteilereinheit, die die Prozessvariabilität weiter reduziert. Darüber hinaus sorgt eine optionale Gassperrmaschine für eine wirksame Verschmutzungsunterdrückung innerhalb der Abscheidekammer. Zur Optimierung der Prozesssteuerung ist Producer GT mit einer umfassenden Palette von Echtzeit-Diagnose- und Steuerungstools ausgestattet. Diese Tools ermöglichen die Echtzeit-Überwachung aller kritischen Prozessvariablen sowie die schnelle Anpassung von Prozessparametern an alle Einstell- oder Betriebsänderungen. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass über die Serien hinweg einheitliche Ergebnisse erzielt werden. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT verfügt auch über eine Probenlade, die speziell für 300 mm, 25 mm und 12 Zoll Wafergrößen ausgelegt ist. Der Probenlader weist eine Wafer-Handling-Öffnung, eine Gasspülöffnung, einen Gaskrümmer und Probenpositionierungssteuerungen auf, die alle eine vollständige Kontrolle über das Einführen und Entfernen von Proben aus der Ladekammer bieten. AMAT Producer GT bietet eine vielseitige, zuverlässige und zuverlässige Produktionsumgebung für die Herstellung hochwertiger Dünnschicht-Halbleitermaterialien. Sein fortschrittliches Design sorgt für hervorragende Schichtgleichmäßigkeit, Prozessflexibilität und Prozesskontrolle, während sein robuster Aufbau dafür sorgt, dass er den anspruchsvollen Anforderungen der Serienfertigung gerecht wird.