Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9253662 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9253662
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
PECVD System, 12"
SiCoNi Clean chamber
Other options and factory interface options:
Additional loadport
Infopad pos A or B
Configurable colored lights
Front facing intake plenum
Upper E84 sensors and cables
TIRIS With RF E99 Carrier ID
Operator access switch
Light curtain
Remote options:
Heat exchanger hoses and manifolds
Facilities UPS interface
Remote flat panel monitor on stand
Through the wall flat panel monitor with keyboard
Non standard request:
Kit
(2) Additional heat exchangers
Manifolds
H Chamber
FI Removal
Producer GT custom option
Pre-align center single axis
5.4 FI
New core
Power vaccine
AMK Handling items
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein Vakuum-Abscheidungsgerät zur Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Dieser Reaktor ermöglicht hochdichte Anwendungen konformer, gleichmäßiger Dünnschichten für verschiedene Schichten integrierter Schaltungen. Es ist ein vollautomatisches Werkzeug zur Verbesserung von Prozessgleichheit, Produktivität und Ertrag. AMAT Producer GT ist mit einem Lastschlosssystem mit hoher Kapazität ausgestattet, das einen kontinuierlichen Hochvakuumbetrieb ermöglicht. Für anspruchsvollere Prozesse setzt dieses Gerät zudem eine fortschrittliche Heiztechnik mit einem Temperaturbereich von bis zu 600 ° C ein. Darüber hinaus weist der Reaktor eine breite Palette von Abscheidungsquellen und mehreren Prozesskammern auf. Auf diese Weise können mehrere Materialien gleichzeitig bearbeitet werden, was eine effiziente Plattform für verschiedene Abscheideprozesse bietet. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller GT nutzt mehrere erweiterte Funktionen für verbesserte Prozessleistung. Dazu gehören Piezomotoren, die eine präzise Bewegungssteuerung des Waferfutters ermöglichen, während eine Advanced Plasma Control (APC) Maschine für optimale Plasmabedingungen sorgt. Darüber hinaus verwendet dieser Reaktor auch ein variables Druckwerkzeug, um die Einstellung des Kammerdrucks auf den optimalen Bereich innerhalb des Prozessfensters zu ermöglichen. Produzent GT ist ideal für Anwendungen mit hoher Dichte wie CMOS und MEMS, Dünnschicht-magnetische und optische Geräte und andere fortschrittliche Abscheidungsprozesse. Im Vergleich zu herkömmlichen Abscheidungstechniken bietet es eine überlegene Gleichmäßigkeit der Folie und ermöglicht auch für vertikal skalierte Geometrien sehr gleichmäßige Folien. Darüber hinaus ermöglicht die Kombination von Plasma und bis zu 600 ° C Temperatur fortschrittliche Abscheidungsprozesse einschließlich ALD/CVD. Diese Anlage ist sehr robust, mit einem leichten und kompakten Design, das es einfach zu installieren und zu warten macht. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ein fortschrittliches Prozesswerkzeug, das Anwendungen mit hoher Dichte in der Halbleiterindustrie ermöglicht. Es bietet eine effektive Lösung für Abscheideprozesse, die eine exakte Kontrolle der Dicke, Temperatur, Druck und Gleichmäßigkeit erfordern. Dieses Modell ist sehr zuverlässig und bietet konsistente und wiederholbare Prozesse, die dazu beitragen, Zykluszeiten zu reduzieren und die gewünschten präzisen Ergebnisse zu erhöhen.
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