Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9282971 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9282971
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
CVD System, 12"
Process: Frontier nitride poly etcher
Factory interface: (3) FOUPs
Handler: Standard automation
(3) Chambers:
Chamber A: SiCoNi PME
Chamber B: Frontier SMR Nitride
Chamber C: (2) Frontier SMR Poly
Options:
L Motion slit valves
Frontier gas panels positions B and C
Swap kits
Siconi GP - A
FI Chemical filter
Heat exchanger integration parts
Nitride conversion kit
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein fortschrittlicher Reaktor für die Materialbearbeitung. Es ist eine Art Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Maschine. Dieser Reaktor nutzt die Verbesserung von ionisierten Plasmen zu Materialfilmen und Beschichtungen. AMAT Producer GT verfügt über einen hochfesten Keramik-Eisen-Substrathalter, der höheren Temperaturen standhält. Dieser Substrathalter hat einen Quarzkristall-Suszeptor, der Temperaturen bis 300 ° C erreichen kann. Es verfügt auch über zwei Keramik-Eisen-Heizgeräte, die höhere Temperaturen bis 400 ° C ermöglichen. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT Reaktor ist mit einem Multi-Kreis-Brennstoff-Design gebaut. Diese Konstruktion nutzt eine einzigartige Mehrringkonfiguration, um eine gleichmäßige Plasmaabscheidung zu erzeugen. Das Mehrkreis-Brennstoffdesign ermöglicht zudem eine präzise Prozesssteuerung für einen einwandfreien Übergang zwischen Abscheide- und Aufräumzyklen. Der Reaktor ist mit einem einzigartigen Dual-Zone-Feature ausgestattet, das verschiedene Plasmabedingungen für verschiedene Arten von Materialien programmieren kann. Produzent GT nutzt fortschrittliche Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Technologie. Diese fortschrittliche Technologie ermöglicht Plasmen hoher Dichte mit verbesserter Ionisation. Diese erhöhte Ionisation ermöglicht schnellere Abscheideraten und höhere Gleichmäßigkeit in Materialfolien und Beschichtungen. Die ECR-Ausrüstung senkt auch die mit dem Abscheideprozess verbundenen Produktionskosten. Der Reaktor hat einen Vakuumdruckbereich von 1x10-7 bis 1x10-3 Torr. Es hat auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie explosionsgeschützten Zugang zur Kammer, Notluftabschaltung und eine Heißgasumgehungsleitung. Darüber hinaus ist der AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktor mit einem fortschrittlichen Fernzugriffssystem ausgestattet. Dies ermöglicht die Steuerung und Überwachung des Reaktors von einem entfernten Ort aus. Die Fernzugriffseinheit bietet auch Diagnose, Echtzeitüberwachung und Datenprotokollierung. Diese Maschine wurde entwickelt, um Ausfallzeiten zu minimieren und Kosten zu reduzieren. Zusammenfassend ist AMAT Producer GT ein fortschrittlicher plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (PECVD). Es verfügt über Dual-Zone-Steuerung, Multi-Kreis-Brennstoff-Design, Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Technologie und erweiterte Fernzugriff-Tool. Dieser Reaktor soll schnellere Abscheideraten und höhere Gleichmäßigkeit in Materialfilmen und Beschichtungen erreichen. Es ist ideal für Werkstoffverarbeitungsanwendungen, die hohe Temperaturen und eine präzise Prozesskontrolle erfordern.
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