Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9284083 zu verkaufen

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ID: 9284083
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
CVD System, 12" Process: Frontier nitride poly etcher Factory interface: (3) FOUPs Handler: Standard automation (3) Chambers: Chamber A: SiCoNi PME Chamber B and C: Frontier SMR Poly 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor für die erweiterte Prozessintegration von Halbleiter-Silizium-auf-Isolator (SOI). Diese Version von AMAT Producer GT wurde mit branchenführenden Funktionsgrößen, überlegener Einheitlichkeit und erstklassiger Latenz entworfen. Darüber hinaus verfügt dieser Reaktor über die branchenweit erste Mehrkammerkonfiguration und ist speziell für ein breites Spektrum an Kundenanforderungen konzipiert. ANWENDUNGSMATERIALIEN Produzent GT Reaktor ist mit einem fortschrittlichen PECVD-Gasfördersystem ausgestattet und ist in der Lage, Siliciumoxynitrid, Siliciumnitrid und andere dielektrische Materialien mit hohen PECVD-Raten zu liefern. Der Reaktor verfügt auch über eine Plasma Enhanced Layer Deposition (PELD) Fähigkeit, dünne planarisierte dielektrische Schichten zu schaffen und die Fähigkeit, chemisch-mechanische Polierprozesse (CMP) durchzuführen. Die CMP-Prozesse bieten eine planare nichtflüchtige dielektrische Schicht mit hervorragenden Eigenschaften für die Geräteleistung. Der GT-Reaktor des Herstellers verfügt außerdem über ein Hochdurchsatzventilsystem, das ein schnelles Umschalten zwischen Kammerzuständen ermöglicht und die Prozesszeit reduziert. Darüber hinaus ermöglicht die Gleichmäßigkeit der Gleichmäßigkeit des Reaktors die Integration verschiedener Prozessmodule. Der Reaktor bietet zudem eine weiträumige Gleichmäßigkeitskontrolle, die eine präzise Prozesssteuerung in einem großen Prozessbereich ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT bietet auch eine breite Palette von Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich automatischer Prozessabstimmung, Selbstlernfähigkeit und „Lock-in“ -Modus. Mit dieser Technologie wird die Prozesssteuerung auf ein feineres Niveau reduziert, was eine höhere Produktivität und Produktqualität ermöglicht, ohne auf Ertrag und Zykluszeit zu verzichten. Insgesamt ist AMAT Producer GT ein innovativer Reaktor, der hohe Leistung und Zuverlässigkeit mit einer flexiblen und kostengünstigen Plattform kombiniert. Es bietet eine überlegene Prozesssteuerung und ist in der Lage, führende Geräteleistungen bei der fortschrittlichen Prozessintegration zu erzielen.
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