Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9293604 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9293604
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
CVD System, 12" Process: Frontier etcher 2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein horizontaler Reaktor, der zur Abscheidung von Photoresists und anderen empfindlichen Schichten für die Mikroelektronikindustrie verwendet wird. Dieser Reaktor ist für die Hochdurchsatzverarbeitung unter Verwendung einer hochtemperaturrohrförmigen Heizzone ausgelegt, die eine geringe thermische Masse und eine schnelle Rückgewinnung ermöglicht. Der AMAT Producer GT verfügt zudem über einen integrierten Suszeptor für echte vertikale Abscheidung über einen weiten Bereich für gleichmäßige dünne Folien. Der integrierte Waferverteiler und die Reaktionskammer sorgen für eine gleichmäßige Partikelbilanz in der gesamten Anlage. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT verfügt über zwei voll programmierbare Prozesskammern mit separaten Lade- und Prozessbereichen für verbesserten Durchsatz und Flexibilität. Es bietet auch eine Reihe von Prozessgassteuerungssystemen, um den gewünschten Gashaushalt in der gesamten Kammer genau zu halten. Die freitragende Konstruktion des Reaktors ermöglicht dem Anwender eine hohe Kontrolle der Prozessgase und ermöglicht eine Prozessoptimierung. Zusätzlich kann die Hauptkammertemperatur je nach Prozessanforderungen von 300 ° C bis 960 ° C eingestellt werden. Hinsichtlich der Sicherheit verfügt der Hersteller GT über zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, die eine erfolgreiche Authentifizierung auf System-, Stations- und Kammerebene erfordern. Es verfügt auch über eine redundante Wärmesicherheitseinheit mit integrierten Temperatursensoren. Schließlich hat AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT die Möglichkeit der HF-fähigen Datenerfassung und -erfassung integriert, was eine umfangreiche Prozessüberwachung und -kontrolle ermöglicht. Abschließend ist AMAT Producer GT eine fortschrittliche Maschine für die Mikroelektronikindustrie. Es verfügt über zahlreiche Merkmale, die es ermöglichen, Photoresists und andere empfindliche Materialien mit verbessertem Durchsatz und Gleichmäßigkeit genau abzuscheiden. Darüber hinaus verfügt es über mehrere Sicherheitsmaßnahmen, um Prozesssicherheit und Datenerfassungsfunktionen für eine effiziente Prozessüberwachung und -kontrolle zu gewährleisten.
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