Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9294490 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9294490
CVD System, 12"
With (2) twin chambers
Wafer shape: SNNF
Local Center Finder (LCF)
Transfer robot type: GT
Load lock chamber pump type: EPX TWIN 180L
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Heaters of FCVD chamber missing
EFEM Chamber with FZ
MKS Astron ex BPSG Chamber
FCVD Chamber
Transfer chamber: 30 mm
Ozone rack
AC Distribution box
(4) Chillers:
THERMO FISHER SCIENTIFIC MX 500W D3
(2) SMC INR–498–012D–X007
SMC INR–496–002D–X007
System rack
(9) Boxes
Frame
PC
Monitor
SMIF/FI:
Type: 5.4
AMHS: OHT
Pre-alignment
Pass through and storage: 8-Slots wafer pass through
(2) Load ports (1 and 4 positions)
FI Controller type:
FE, FI and RT Computer type: IBM 306M
Sub components:
O3 Generator type: MKS ASTEX
Ozone cabinet: INUSA
Heat exchanger type: SMC H2000
Heat exchanger type for O3: MX500
(2) Chambers:
Chamber A:
Type: FCVD Twin
Process: F-Oxide
Heater lift driver: 0190-13840
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 041010-1
Throttle valve: MKS T3Bi
RPS Type: MKS Astron e/ex
Manometer: 5 Torr / 100 Torr
Chamber B:
Type: SACVD Twin
Process: HARP USG
Heater lift driver: 1080-00126
Isolation (Gate) valve: Nor Cal 021010-1
Throttle valve: MKS 683
RPS Type: MKS Astron EX
Manometer: 20 Torr / 1000 Torr
Process chamber:
Gas box
Face plate
Blocker plate
Input manifold
Output manifold
Teflon manifold
Ceramic isolator
Heater
RF Filter
Pin lift driver
AC Box
Gas delivery:
Gas pallet type
Regulator
Transducer
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 10 SLM
3 / AR / 10 SLM
4 / N2 / 200 SCCM
5 / O2 / 2.5 SLM
6 / N2 Purge / -
7 / Si3H9N / 1 L
9 / HE / 5 SLM
10 / N2 Purge / -
11 / NH3 / 700 SCCM
12 / NH3 / 1 SLM
14 / H2O / 1g/min
15 / AR / 5 SLM
21 / HE / 5 SLM
22 / N2 Purge / -
Chamber B:
Stick position / Gas type / Volume
1 / N2 Purge / -
2 / NF3 / 7 SLM
3 / AR / 15 SLM
4 / N2 / 5 SLM
5 / N2 / 10 SLM
6 / O3 Out / -
7 / O3 In / -
8 / O2 / 30 SLM
9 / N2 / 30 SLM
10 / H2O In / 10g/min
11 / H2O Out / -
14 / TEOS / 7g/min
15 / N2 / 50 SLM
21 / HE / 3 SLM
22 / N2 Purge / -
Power supply:
Remote AC line: 208 V, 50/60 Hz
Remote UPS
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein Werkzeug zum Aufbringen dünner Material- oder Materialkombinationen auf Substrate. Die Anlage besteht aus einem Dreikammerreaktor, einer Reihe von Pumpen und Reglern sowie einem fortschrittlichen Wärmemanagementsystem. Diese komplette Einheit wurde entwickelt, um eine präzise Abscheidung von Materialien auf Substraten zu ermöglichen. Die Hauptkammer des Reaktors hält das Substrat, während die beiden anderen kleineren Kammern die abzuscheidenden Materialien aufnehmen. Die Maschine verwendet eine Vielzahl von Techniken, um Materialien auf dem Substrat abzuscheiden, wie chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD) und Sputtern. Mit dem leistungsstarken Wärmemanagementwerkzeug können die Materialien für jede Abscheidetechnik entsprechend erwärmt und gekühlt werden. Die Substrate werden zusammen mit den abzuscheidenden Materialien in die Hauptabscheidekammer des Reaktors geladen. Die Materialien werden auf die entsprechende Temperatur erhitzt und dann durch die kleineren Kammern in die Kammer eingeleitet. Die durch die Zersetzung der Materialien entstehenden Gase und Dämpfe werden durch die Abgasleitung abgezogen. Bei Wegbewegung der Dämpfe und Gase wird das Substrat langsam in der gewünschten dünnen Materialkombination abgedeckt. Die Anlage ist hochgradig anpassbar, so dass Benutzer Parameter wie Temperatur, Druck und Gasdurchfluss anpassen können, um ihr abgelagertes Material feinabzustimmen. Die Anpassbarkeit von AMAT Producer GT gibt Benutzern die Möglichkeit, eine präzise Abscheidung von Materialien auf einer Reihe von Substraten zu erreichen, wodurch komplexe elektronische Geräte hergestellt werden können. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT ist ein All-in-One-Werkzeug entwickelt, um die Abscheidung von dünnen Filmen aus Materialien einfach und präzise zu machen. Mit seinem robusten Thermomanagementmodell, anpassbaren Parametern und einer breiten Palette von Abscheidungstechniken ist Producer GT ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für die moderne Elektronikherstellung.
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