Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351133 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein fortschrittlicher Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reaktor, der zur Abscheidung von Dielektrika, Polymeren und Metallen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um die Produktionskapazität und Zuverlässigkeit zu erhöhen, die Produktqualität zu verbessern und die Betriebskosten zu senken. AMAT Producer GT Reaktoranlagen kombinieren eine Quellkammer, Abscheidekammer und vollautomatische Prozesskammersteuerungen, einen Gasleitungsschrank, Heizzonensteuerungen, ein zentrales Vakuumsystem und eine in situ Endpunktmessung (IEM) als Komplettlösung. Der Reaktor ist unglaublich flexibel und kann verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, von großflächigen Substraten bis hin zu mikrometergroßen Merkmalen. Die Quellkammer von APPLIED MATERIALS Producer GT ist mit mehreren integrierten Hochleistungs-HF-Quellen ausgestattet, um hohe Abscheidungsraten zu erzielen. Die Gaseinspritzmaschine ist so ausgelegt, dass sie präzise Kraftstoffgemischverhältnisse zur Steuerung der Abscheiderate und der Grenzwertregelung liefert. Mehrere Gasleitungen und digitale Massenstromregler ermöglichen komplexe Prozesse, wie z.B. Reaktiv- und Inertgaschemie. Die Reaktorkammer ist für die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Abscheideprozesses mit einem sehr geringen Source-to-Substrat-Abstand für eine hervorragende Prozesssteuerung ausgelegt. Eine Linearfeld-Elektromagnetspule sorgt großflächig für hohe Gleichmäßigkeit. Es hat auch einen beeindruckenden Temperaturregelmechanismus integriert, um hohe Temperaturgleichförmigkeit mit separaten Heizzonen und direkte Temperaturrückkopplung zu liefern. Das IEM-Tool ist die ultimative Steuerung für die Substratabscheidung, die Überwachung von In-situ-Prozessendpunkten und die Bereitstellung von Echtzeit-Feedback. Diese Überwachungseinrichtung ist in der Lage, Abscheidungsgeschwindigkeitsschwankungen mit hoher Empfindlichkeit über einen großen Temperaturbereich zu erkennen. Das IEM-Modell hat auch eine einheitliche Absetzungsprozessraumatmosphärenüberwachungsausrüstung für jeden erlaubten Prozessraum. Insgesamt ist Producer GT ein zuverlässiges, automatisiertes PECVD-System, das in der Lage ist, präzise Prozesskontrolle und Abscheidungsgleichmäßigkeit über weite Bereiche mit unglaublich schnellen Abscheideraten zu liefern. Diese Reaktoreinheit ist eine attraktive Option für alle Wissenschaftler oder Ingenieure, die hohe Leistung und Präzision in ihrem Abscheidungsprozess benötigen.