Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9352398 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9352398
Weinlese: 2020
CVD Systems 2020 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein robuster, hochdurchsatzreicher Plasmaätzreaktor für Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Die Geräte verwenden ein Advanced Source Technology (AST) Prozessmodul, das eine schnelle Umstellung und Integration für verschiedene Ätzprozesse ermöglicht. Die Plasmakammer ist für eine hohe Ätzrate und Gleichmäßigkeit über eine breite Palette von Wafergrößen optimiert. Das System wird von einem schnellen Turbo Plasma (TP) Generator angetrieben, der Gleichmäßigkeit über die gesamte Schüssel bietet. AMAT Producer GT ist mit modernster Bewegungssteuerung und automatisierter Prozessüberwachung ausgestattet, die hochgenaue, wiederholbare Prozessergebnisse liefern. Zu den Gerätemerkmalen gehören hochpräzise, bidirektionale Bewegungssteuerung und Wafer-Handling, um hochfeste und streng kontrollierte Plasmaprozessschritte zu ermöglichen. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Producer GT mit einer fortschrittlichen In-situ-Endpunktfähigkeit ausgestattet und bietet eine vorausschauende Prozesssteuerung für kritische Prozessschritte. Der Hersteller GT verfügt über einen Penta-Tube Viewport, der eine signifikante Verkürzung der Zeit zur Beobachtung der Waferbearbeitung ermöglicht, indem zeitaufwändiges Be- und Entladen von Wafern eliminiert wird. Der Penta-viewPort bietet einen großen Anzeigebereich zur Beobachtung von Waferoperationen aus verschiedenen Winkeln. Der Wafer wird entlang einer Out-of-Role-Achse positioniert, um gute Blickwinkel zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist für die industrielle Produktion konzipiert und verfügt über eine Werkzeugstruktur, die vollständig durch eine patentierte Substrate Shield Technology versiegelt ist. Dieses Merkmal isoliert effektiv die innere Plasmaumgebung von jeder möglichen Kontamination oder Verringerung. Die Maschine verfügt auch über ein modernes Fernwartungstool, das eine Ferndiagnose und effiziente Reparaturen ermöglicht. AMAT Producer GT ist mit einem integrierten CDA-Asset ausgestattet und bietet erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen. Darüber hinaus bietet APPLIED MATERIALS Producer GT ANGEWANDTE MATERIALIEN High-Speed Internal Gas Isolierung (HSIGI) Technologie, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Dies ermöglicht eine Gleichmäßigkeit und eine größere Kontrolle der Prozessergebnisse. Das Modell verfügt außerdem über eine Mehrpunkt-Temperaturregelung und -überwachung, um präzise und konsistente Temperaturen in der gesamten Konfiguration sicherzustellen. Hersteller GT ist ein leistungsfähiger, zuverlässiger und effizienter Ätzreaktor, der optimale Prozessergebnisse für die Herstellung von Halbleiterbauelementen liefert. Es ist ideal für Produktionsmaßstabs- und Prozessübertragungen und bietet erhebliche Zeitersparnisse und Prozessverbesserungen. Das Gerät liefert extrem wiederholbare Ergebnisse, und die Kombination aus fortschrittlichen Prozessmodulen, Bewegungssteuerung und Endpunktfunktionen ermöglicht hochpräzise Ergebnisse.
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