Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9412145 zu verkaufen

ID: 9412145
Wafergröße: 12"
CVD Systems, 12" Process: TEOS.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reaktor ist eine fortschrittliche physikalische Dampfabscheidung (PVD) Ausrüstung für den Anbau von dünnen Schichten für Anwendungen von Halbleiterbauelementen bis zur Datenspeicherung. Es ist eines der leistungsfähigsten und fortschrittlichsten PVD-Systeme in der Industrie, mit Hochleistungs-Elektronenquellen und überlegener Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schichten. Das System besteht aus einer vakuumdichten Kammer, Bauteilfächern, Elektronenquellen und Fernbedienungskomponenten sowie einer ausgeklügelten Steuereinheit. Die Kammer besteht aus einer Edelstahlkammer mit einer erhöhten Plattform, einem Gaskasten und einer Gasleitung. Die Komponentenfächer beherbergen die Elektronenquellen, zu denen Elektronenkanonen und Sonden gehören. Die Elektronenkanone emittiert einen fokussierten Elektronenstrom, der ein Plasma innerhalb der Kammer erzeugt und das abgeschiedene Material verdampft. Die Sonden steuern die Energie- und räumliche Verteilung der Elektronen, wodurch dünne Schichten hoher Qualität abgeschieden werden können. Die Komponentenfächer sind in einem vakuumdichten Gehäuse eingeschlossen und ermöglichen eine einfache Wartung. Mit der Kammer verbundene Vakuumpumpen evakuieren die Kammer auf den gewünschten Druck und steuern die Dichtheit. Zur Aufrechterhaltung und Steuerung der Kammer werden ein Paar Thermoelemente und ein Pirani-Manometer angeschlossen und der Druck innerhalb der Kammer gemessen. Die Maschine enthält auch ein ausgeklügeltes Steuerwerkzeug, das eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses ermöglicht. Das Asset verwendet eine flexible, hierarchische Menüstruktur, die die Überwachung und Steuerung der Ablagerungsparameter ermöglicht. Dies bietet dem Benutzer die Möglichkeit, den Ablagerungsprozess an seine spezifischen Anforderungen anzupassen. Das Kontrollmodell hat auch die Fähigkeit, Abscheidungsrezepte zu speichern, so dass eine schnelle und bequeme Vorbereitung mehrerer Dünnschichtabscheidungssequenzen möglich ist. AMAT Producer GT ist einfach zu bedienen und zu warten, mit standardmäßigen Diagnose- und Fehlerbehebungswerkzeugen. Das Gerät wird auch mit einer Überwachungssoftware auf Expertenebene zusammengestellt, die dem Benutzer Echtzeitinformationen zum Abscheideprozess liefert. Dieses System ermöglicht es dem Anwender, schnell und einfach zuverlässige und konsistente Dünnschichtabscheidungen vorzunehmen. ANWENDUNGSMATERIALIEN Produzent GT ist eine führende Einheit in der PVD-Industrie und bietet eine zuverlässige und konsistente Methode zum Abscheiden hochwertiger Dünnschichten. Es bietet überlegene Gleichförmigkeits- und Hochleistungselektronenquellen sowie die Flexibilität seiner hierarchischen Menüstruktur, umfangreiche Diagnose- und Fehlerbehebungswerkzeuge und Experten-Überwachungssoftware.
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