Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9275294 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9275294
Wafergröße: 12"
12"
Process: Extensa Su
Magnet
Cryo pump OB-IF8
Gate valve: VAT
Heater: 0010-24456
Adaptor: 0040-89818
Manometer: 1350-00255
ATM gauge: W117V-3H-F12M-X30014
Capacitance pirani gauge: 3310-00073
Pedestal integration box: 0010-28071
Hot ion / Pirani gauge: 0190-26769
Shutter sensor assembly: 0190-10801
Source assembly: 0010-44917
Angle vacuum valve: AVT-150M-P-03
Heater lift motor
Wafer lift motor: MQMA012AF
Shutter motor: PK564AW2-A8
Drivers:
Heater driver: 3096-1007
Wafer lift driver: 0190-15328
Pedestal driver: PV2A015SMT1PA0-C1
Magnet rotation driver: BXD400B-S
MFC:
AR 50
AR 20
N2 92
No 5-Phase driver
No ISAC CP 10 Block board
No defective power supply.
AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura ist ein physikalischer PVD-Reaktor, der für den Einsatz in einer Vielzahl von Produktionsanwendungen in einer Vielzahl von Industrien entwickelt wurde. PVD ist ein Abscheideverfahren, bei dem ein Ausgangsmaterial verdampft wird, um einen festen Film auf einem Substrat zu erzeugen. Die Endura-Kammer bietet ein zuverlässiges und kostengünstiges Depositionsmittel in einer Vielzahl von Branchen. Die Endura-Kammer verfügt über ein aktives Pumpsystem, das hochreines Prozessgas unter hohem Druck liefert. Das System umfasst auch eine Hochleistungsquelle zum Verdampfen des abzuscheidenden Materials. Diese Quelle besteht aus Filament-Typ Wolfram-Boote, Triode beheizte Filamente, oder Elektronenkanonen. Die Kammer umfasst auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Quarzfensterdichtungen, Lecksucher und explosive Gasdetektoren. Die Kammer besteht aus Edelstahl, UHV-kompatiblem Aluminium und anderen korrosionsbeständigen Materialien. Die Kammer umfasst auch zwei Atmosphärenbilder, die die Beobachtung und Überwachung des Abscheideprozesses ermöglichen. Die Blicke sind optisch abgedichtet, um eine Verschmutzung des Innenraums zu verhindern. Die Endura-Kammer soll eine hohe Produktivität, Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit erreichen. Das computerbasierte Steuerungssystem ermöglicht automatisierte Rezepte und Datenerfassung, Prozessüberwachung und andere erweiterte Funktionen. Sie ist so konzipiert, dass sie den Anforderungen der Großserienfertigung gerecht wird und Temperaturen bis 1100 ° C aufrechterhalten kann. Neben Zuverlässigkeit und Flexibilität im Abscheideprozess trägt die Endura-Kammer zur Minimierung prozessbezogener Kosten bei. Dies wird durch einfache Wartung und geringe Betriebskosten erreicht. Darüber hinaus tragen die Effizienz und die fortschrittlichen Technologien dazu bei, die Produktivität der Prozesse zu steigern und gleichzeitig die höchsten Qualitätsstandards aufrechtzuerhalten. Insgesamt bietet AMAT PVD-Kammer für Endura eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, physikalische Aufdampfung durchzuführen. Seine fortschrittlichen Sicherheits- und Steuerungsfunktionen, gepaart mit seiner Zuverlässigkeit und Flexibilität, machen es zu einer idealen Wahl für viele Produktionsanwendungen.
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