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AMAT / APPLIED MATERIALS
PVD Chamber for Endura
Includes: Cryo pump Wide body Standard body chamber.
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12" Process: RFxT Cu Magnet Heater: 0010-42030 SMITOMO Cryo pump Gate valve: VAT Angle vacuum valve
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12" Process: RFxT Cu Magnet Heater: 0010-27983 Cryo pump OB-IF8 Gate valve: VAT Angle vacuum valve:
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12" Process: IMP TT Magnet Heater: 0010-27983 Cryo pump OB-IF8 Gate valve: VAT Angle vacuum valve: A
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12" Process: IMP TiN Magnet Matcher Heater: 0010-27983 Cryo pump OB-IF8 Gate valve: VAT Angle vacuum
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