Gebraucht VEECO Spector HBDG #293645262 zu verkaufen
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ID: 293645262
Weinlese: 1996
Dual ion beam deposition system
Ion beam deposition system
Horizontal beam, dual gun (HBDG)
IBAD Processing
R&D Size
Dry roughing pump for enhanced UV optical film performance
RF Ion sources with PB neutralizers
Standard vacuum instrumentation via ITAVS
Split drum style chamber
(4) Round targets
External substrate rotation
CTI Cryotorr 10IIRC pump
IC4+
(2) Ion 6cm guns
Plasma bridge neutralizers
5" targets
(4) Position water cooled target carousel with gas flood
Substrate stage: 6"
Water cooled
Rotation
90-0-90 tilt
Currently warehoused
1996 vintage.
VEECO Spector HBDG ist ein Hochleistungs-Sputtersystem, das entwickelt wurde, um hochwertige dünne Filme mit präziser Kontrolle über Filmdicke, Abscheiderate und Gleichmäßigkeit zu erstellen. Das System besteht aus einer Basiskammer, einer Zielkammer, Hochspannungsversorgungen und Vakuumpumpen. Die Basiskammer ist eine Vakuumkammer mit rechteckiger Form zur Montage von drei Magnetron-Sputterquellen. Die Zerstäubungsquellen sind mit einer möglichen Hochspannungsversorgung verbunden, die eine präzise Regelung der Spannungen ermöglicht. Die Targets werden in der Targetkammer montiert, die isolierende Wände und ein gekühltes Innenregal enthält, um die Targets auf einer niedrigen Temperatur zu halten. Der Druck in beiden Kammern wird aufrechterhalten, indem die Kammern an zwei Vakuumpumpen angeschlossen werden, die auf einen beliebigen Druck einstellbar sind. Zu Beginn des Sputterprozesses wird die Kammer auf einen niedrigen Druck evakuiert und die Targets erhitzt, bis ihre Temperatur das erforderliche Niveau erreicht. Die Targets werden dann einem starken elektrischen Feld ausgesetzt, das durch die Hochspannungsversorgung erzeugt wird, wodurch Elektronen emittiert werden. Wenn die Elektronen die Oberfläche des Targets erreichen, bewirken sie, dass die Atome des Zielmaterials ausstoßen und ein ionisiertes Plasma bilden. Das Plasma wird dann beschleunigt, indem es einer Hochspannung ausgesetzt wird, wodurch ein Strahl von Ionen entsteht, die sich auf das Substrat zubewegen. Der Sputterabscheidungsprozess wird mit Hilfe von Spektrometern und anderen Detektoren sorgfältig überwacht. Dadurch kann das Verfahren eingestellt werden, um die Qualität der dünnen Folien zu optimieren und die Gleichmäßigkeit ihrer Dicke zu verbessern. Spector HBDG ist ideal für die Herstellung von dünnen Filmen von hoher Qualität und Gleichmäßigkeit. Es wird in einer Vielzahl von Anwendungen wie Solarzellen, Dünnschichttransistoren, MEMS-Bauelemente und Display-Technologien verwendet.
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