Gebraucht DISCO DFG 8540 #9138237 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9138237
Wafer back grinder
Workpiece : Silicon wafer
Sample wafer provision : with (200mm)
Wafer thickness :
o 8"mm wafer
Thickness after processing : 100um, 200um,150um
o 6" wafer
Thickness after processing : < =300um
Protective tape
Wheel selection (for Z1:fine grinding) : BT 300
Wheel selection (self-grinding) : Disco suggestion
Dresser board :
Z1 wheel : Part no : DISCO
Z2 wheel : Part no : DISCO
Default cassette setting : Open flow (transfer to opposite cassette)
Stage A:
8" A192-80M
8" double slot cassette
sample of cassette
Stage B:
8" A192-80M
8" double slot cassette
sample of cassette
Adjustable cassette setting 1:
open flow(transfer to opposite cassette)
Stage A:
6" A194-60MB
6" double slot cassette
Sample of cassette
Stage B:
6" A194-60MB
6" double slot cassette
sample of cassette
Default display language : English
Z1
Height gauge stroke : 1.8mm(max.)
Z2
Height gauge stroke : 1.8mm(max.)
Power voltage
Power frequency : 60Hz
Attached hose : 5M
Safty lables : English
Paint color:
Cream
Standard color (munsell#2.5GY8.0/0.5)
Black
Standard color munsell#N 2.4
Manuals:
First set : English (for standard specification)
Second set : English (for standard specification)
Transport parts :
6" to 8"
Optional accessories (included with shipment) : 8" dedicated transport parts
Optional accessories (Thin grinding specification) : 6" decicated, 8" dedicated
Chuck table : Universal (4" to 8")
Wafer size selection for universal chuck table: 5",6",8"
Double slot cassette for thinly ground waters :
6" dedicated double slot cassette
8" dedicated double slot cassette
Lifting jig set
Power cable for main unit : with (5m/transformer for main unit is used)
Site-side piping joints : Including water temperature control unit (DTU152)
Automatic setup function
Transformer for main unit CM:with (voltage: 220 V)
Water temperature control unit (DTU152) : with (English manual attached)
Transformer for water temperature control unit : with (voltage :220 V)
Power cable for water temperature control unit: with (5m/transformer for DTU152 is used)
Duct unit
Uniterruptible power supply unit
Vaccum maintance function
Equip 8" & 6" wf thin grinding necessary parts
8" wf parts with shipment for main product
Capacity : 5 m3/min
2010 vintage.
DISCO DFG 8540 ist eine kompakte, leistungsstarke Wafer-Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die den höchsten Anforderungen der Halbleiter- und Optikindustrie gerecht wird. Dieses robuste System ist mit erweiterten Steuerungsfunktionen ausgestattet und in der Lage, Präzisionsstufen bis zu 0,1 um zu erreichen, was es zu einem perfekten Werkzeug für Nanotechnologien macht. Zu den Hauptkomponenten der Einheit gehören ein Schleif- und Polierkopf, eine Schleifplatte und ein Grundkörperrahmen. Der Schleifkopf wird von einem AccuForce-I Schleifantriebsmotor angetrieben und ist mit einer maximalen Drehzahl von 12.000 U/min drehbar. Die Schleifplatte ist mit einem Direktantriebsmotor ausgestattet und bei Drehzahlen bis 10.000 U/min für wiederholbare Genauigkeit bis 0,1um drehbar. Der Hauptrahmen wurde entwickelt, um alle Komponenten fest zusammenzuhalten und verfügt über ein integriertes Bedienfeld, das einen einfachen Zugriff auf alle Maschinenparameter ermöglicht. Das Werkzeug ist mit einer Signalsteuerungssoftware ausgestattet, die eine einfache Bedienung der Anlage und eine Echtzeitsteuerung der Schleif- und Polierprozesse ermöglicht. Es verfügt zudem über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und zeigt den Schleif- und Polierstatus in Echtzeit an. Letzteres macht es einfach, den gesamten Prozess zu überwachen und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erhalten. Das Modell ist auch in der Lage, Kundendaten zu speichern und zu übertragen, was es zu einem idealen Werkzeug für Kooperationsprojekte macht. Schließlich ist DISCO DFG8540 mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter ein doppellagiges Schutzgehäuse für den Schleif- und Polierkopf sowie eine Sicherheitstür, um unbefugtes Personal am Zugang zum Gerät zu hindern. Diese Eigenschaften, kombiniert mit seiner Genauigkeit und Zuverlässigkeit, machen DFG 8540 zu einem zuverlässigen Werkzeug für Waferschleifen, Läppen und Polieren.
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