Gebraucht DISCO DFP 8140 #9311797 zu verkaufen

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ID: 9311797
Weinlese: 2004
Polisher 2005 vintage.
DISCO DFP 8140 ist eine Präzisionsscheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die entwickelt wurde, um hochwertige Oberflächenoberflächen und Genauigkeit zu erreichen. Unter Verwendung der neuesten Technologien ist dieses modulare System ideal für die Herstellung von hochwertigen Halbleiterbauelement-Wafern, die eine außergewöhnliche Oberflächenqualität und Genauigkeit erfordern. DISCO DFP8140 verfügt über eine große Prozesskammer, die ideal für Wafer mit größerem Durchmesser ist. Ein pneumatisch angetriebener Hochdruck-Läpptisch in Kombination mit druckpneumatischen Läppplatten beseitigt effektiv auch die härtesten Defekte. Um weiterhin Qualität und Genauigkeit zu gewährleisten, umfasst das Gerät auch eine Präzisionsschleifeinheit mit einer unabhängig gesteuerten z-Achse. Dieses Gerät verwendet hochpräzise Diamantscheiben, um eine hervorragende Oberflächengüte und Genauigkeit zu bieten. Die Maschine verwendet spezielle Polierkissen, um ein relativ spannungsfreies Polieren zu ermöglichen, wodurch weniger Waferdefekte entstehen. Die Polierkissen sind in mehreren Mustern für verschiedene Materialien und Anwendungen erhältlich. Ein Wafer-Servo-Roboterübertragungswerkzeug, kombiniert mit zwei individuell gesteuerten hochpräzisen Drehscheiben für das Wafer-Handling, sorgt für eine genaue Positionierung von Wafern auf den Läpp- und Poliertischen. DFP 8140 verfügt über eine einfache Benutzeroberfläche mit einer leicht verständlichen grafischen Anzeige zur Programmierung von Prozessparametern. Die hochpräzisen Positionsgeber des Asset ermöglichen eine genaue Kontrolle von Läpp- und Polierpads. Automatische Monitorprozessparameter und Warnungen werden auch auf dem LCD-Display zur schnellen Entscheidungsfindung angezeigt. Darüber hinaus ermöglicht das Modell die Integration externer Prozessüberwachungssysteme wie optische und elektrische Wafertests. DFP8140 verwendet eine computergestützte Steuerungsausrüstung, die leistungsfähig genug ist, um die sich ändernden Anforderungen in der Halbleiterindustrie zu erfüllen und wertvoll genug ist, um die Arbeitskosten zu senken. Das fortschrittliche Design bietet konsistente wiederholbare Ergebnisse und gleichzeitig Zuverlässigkeit und Flexibilität. Das Ergebnis ist ein automatisiertes System, das die Wafergenauigkeit erhöht und gleichzeitig die Prozesszeit minimiert.
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