Gebraucht DISCO DFP 8140 #9351879 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9351879
Weinlese: 2005
Wafer polisher
Wafer diameter: 4"-8"
Polishing method: Anomalous in-feed grinding with wafer rotation
Dry polishing wheel: 300 mm
Porous chuck table
Revolutions: 0-300 min^-1
Vacuum chuck
Chuck table cleaning:
Water and air thrust up
Leveling stone
Brush cleaning
Spinner unit:
2-Stream jet nozzle cleaning
Both side drying
Internal load sensor: Thin force sensor
Spindle:
Output: 4.8 kW
Revolution speed range: 1000-4000 min^-1
2005 vintage.
DISCO DFP 8140 ist eine Scheibenschleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die hohe Präzision und hervorragende Oberflächengüte für eine Vielzahl von Waferprodukten liefert. Das System besteht aus einem großflächigen Schleif- und Polierwerkzeug, dem SPG-8140 sowie mehreren zusätzlichen Komponenten, die für seinen Betrieb notwendig sind, wie einem Spinnfutter, Schleifmaterial und einer Luftlagerkraftsteuerung. Das SPG-8140 ist ein großformatiges Präzisionswerkzeug mit 7,8 "(195 mm) Tischweg, 6" (150 mm) Schleif-/Polierscheibe und 7,9 "(200 mm) Waferspannfutter. Das SPG-8140 verfügt über wassergekühlte Schleif-/Polierplatte und verwendet hochpräzise digitale Steuerungstechnik, um eine präzise Kontrolle der abrasiven Oberflächengüte zu gewährleisten. Das Gerät verfügt auch über eine selbstdiagnostische Maschine, um Echtzeit-Inspektion für Schleifen und Polieren zu ermöglichen. Auch die Luftlagerkraftsteuerung ist im Lieferumfang enthalten, die eine Kraftsteuerung während des Schleif-/Polierprozesses ermöglicht. Das Spinnfutter kann von 0 bis 400 U/min eingestellt werden, was Schleif- und Läppanwendungen und eine erhöhte Schleifgeschwindigkeit ermöglicht. Zusätzlich enthält das Werkzeug einen 9 "(225mm) Waferübertragungsarm, mit dem Wafer vom und zum Futter übertragen werden können. Neben seinen Schleif- und Polierfunktionen verfügt DISCO DFP8140 auch über eine In-situ-Polierfähigkeit. Diese Funktion ermöglicht ein kontaktarmes Polieren von Dünnschichten und Oberflächen niedriger k, was eine bessere Kontrolle über die Oberflächengüte und Polierqualität ermöglicht. Das Asset enthält auch ein Softwarepaket, das die Bedienung und Bedienung des Modells vereinfacht. Insgesamt ist DFP 8140 eine hochpräzise Schleif-, Läpp- und Polierausrüstung, die überlegene Oberflächengüte und Genauigkeit für eine Reihe von Waferprodukten liefert. Das System ist einfach zu bedienen und zu warten, mit einem intuitiven Softwarepaket für die Bedienung und Echtzeit-Diagnosefunktionen für die Überwachung des Prozesses. Das Gerät eignet sich hervorragend zum Schleifen und Polieren sowie zum kontaktarmen Polieren spezialisierter Dünnschicht- und Low-K-Oberflächen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor