Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9130176 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM
ID: 9130176
Wafergröße: 12"
System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit in automatisierten Wafer-Prüf- und Messprozessen ermöglicht. Das System verfügt über ein hochpräzises Rasterelektronenmikroskop, das in der Lage ist, 0,5 nm Genauigkeit in der Navigation zu erreichen, sowie eine breite Palette von Messfähigkeiten, die alle Stufen der Geräteherstellung abdecken. Darüber hinaus verwendet das Gerät eine fortschrittliche optische Erkennungsmaschine, um Geräte, aktive Bereiche und Defekte auf dem Wafer zu identifizieren. Dies ermöglicht eine präzise und koordinierte Messung von Eigenschaften wie Oberflächenmorphologie und Zusammensetzung, Defekten, Foliendicke, Overlay-Registrierung und Dotierungsprofilen. AMAT VeraSEM verfügt zudem über ein automatisiertes Wafer-Handling-Tool, das die Stabilität des Wafers während der Prüfung gewährleistet. Die Anlage ist in der Lage, Wafer verschiedener Formen, Größen und Orientierungen zu handhaben, um sicherzustellen, dass die Ausrichtung des Wafers während des Tests erhalten bleibt. Darüber hinaus bietet das Modell eine Reihe von messtechnischen Werkzeugen zur Messung von Geräteeigenschaften wie Linienbreite, Überlagerungsgenauigkeit und Dicke sowie bildgebende Funktionen zur Anzeige und Analyse von nanoskaligen Objekten auf dem Wafer. Das Gerät verfügt außerdem über zwei integrierte Wirbelstrom-Messtechnologien, die schnelle und genaue Messungen von Dünnschichtdicken, Metallfilmspannung und Metallleitungswiderstand ermöglichen. Dadurch ist es möglich, Metallschichten auf dünnen Folien und Vorrichtungen genauer zu erkennen und zu messen. Schließlich wird APPLIED MATERIALS VeraSEM durch eine intuitive Benutzeroberfläche und umfassende Software unterstützt, die die Datenerfassung und -analyse vereinfacht. So können Benutzer Aufträge einfach erstellen und anpassen und erstellen umfassende Berichte mit detaillierter Datenanalyse. Darüber hinaus kann das System mit anderen Systemen und Geräten wie Diskriminatoren integriert werden, so dass es ideal ist, mehrere verschiedene Geräte gleichzeitig zu testen.
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