Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9196915 zu verkaufen
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ID: 9196915
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
3D Scanning electron microscope (SEM), 8"
Wafer shape: SNNF
PP Miraial, 8"
No SMIF interface
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V - 2000V
Probe current:
Low: 5pA
Medium: 10pA
High: 20pA
Electromagnetic lens: 3 Stages electromagnetic lens
Boosting voltage: Beam deflector module
Objective lens
Scan coil: 2 Stages electromagnetic deflection (X & Y-axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100µm to 0.25µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Asspect ratio: >14:1
Tilt function: 5 Degrees (4 Directions)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
COHU CCD Camera: Monochrome
Magnification: 16x / 220x (450µm / 6000µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
HDD Capacity: 73 GB
Memory: 1024 MB
SECS/GEM Communication interface
Wafer stages: ANORAD X,Y & Z Stages
Moving speed: 300 mm/sec
Function target: Faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability: Notch / Orientation flat
Pre-alignment: Sensing by CCD bar (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Uninterruptible power supply: POWERWARE+Plus 18/18
Dry pump load lock: EBARA AA20
Dry pump chamber: EBARA A10S
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die höchste Genauigkeit, Präzision und Durchsatz bietet. Die robuste, flexible und leistungsstarke Plattform von AMAT VeraSEM ermöglicht integrierte Lösungen zur Verbesserung der Qualität, Produktivität und Ausbeute von Wafertests. ANGEWANDTE MATERIALIEN VeraSEM ist ein integriertes System, das aus vier Hauptkomponenten besteht: dem Scanner und der Probenphase, einer fortgeschrittenen Wafer-Inspektionseinheit, einer optischen Inspektions- und Fokusmessmaschine und einem Laserwerkzeug. Der Scanner und die Probenphase von VeraSEM wurden entwickelt, um eine präzise, wiederholbare Scan- und Probenpositionierung zu ermöglichen, um eine maximale Testeffizienz zu gewährleisten. Das Asset zeichnet sich durch hervorragende Wiederholbarkeit und Stabilität aus und bewahrt dieselben Scan- und Beispielpositionen für mehrere Operationen. Das fortschrittliche Wafer-Inspektionsmodell von AMAT/APPLIED MATERIALS VeraSEM nutzt fortschrittliche Lichtquellen, spezialisierte Filter und Sensoren, um Schwachstellen, Blasen, Kratzer und andere Defekte im Wafer schnell zu identifizieren. Die Ausrüstung kann auch Waferdicke, Ebenheit und Neigung genau messen. Das optische Inspektions- und Fokussierungssystem ermöglicht hochgenaue Oberflächen- und Rückseitenprüfungen, um Probleme zu erkennen, die sich auf den Produktionsprozess auswirken können. Dieses Gerät ist auch in der Lage, kleine Defekte zu messen und zu verfolgen, was einen umfassenden Überblick über den Zustand des Wafers bietet. Schließlich wird die Lasermaschine verwendet, um Waferprofil, IPE, EPE und Zernike Analyse genau zu messen. Es bietet auch präzise Messungen zum Nachweis von Partikeln, Gruben und mehr. AMAT VeraSEM ist die perfekte Wahl für jedes Unternehmen, das nach einer All-in-One-Lösung zum Testen, Messen und Prüfen einer Vielzahl von Wafergrößen sucht. Das präzise und wiederholbare Scannen, fortschrittliche Waferinspektion, optische Inspektion und Fokusmessung sowie Lasersysteme machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug für Wafertests und Messtechnik.
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