Gebraucht KLA / TENCOR 5011 #293616228 zu verkaufen

KLA / TENCOR 5011
ID: 293616228
Overlay precision measurement system.
KLA/TENCOR 5011 ist eines der fortschrittlichsten Wafer-Prüf- und Messtechnik-Systeme auf dem Markt. Es wird verwendet, um eine breite Palette von kritischen Merkmalen und elektrischen Eigenschaften auf Halbleiterscheiben zu messen. Die Ausrüstung ist in der Lage, Wafer bis zu 8 "in der Größe mit einem hohen Grad an Genauigkeit zu handhaben, so dass es ideal für eine Vielzahl von Branchen, einschließlich Telekom, Strom, Automobil und LED-Beleuchtung. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten - einer Wafer Inspection Station und Wafer Metrology/Test Station. Die Wafer Inspection Station umfasst Mikroskop-, Laser-, Fokus- und Ausrichtungs- sowie Bildverarbeitungsfunktionen. Diese Station ermöglicht eine detaillierte Inspektion und Charakterisierung der Oberfläche und Struktur des Wafers. Durch die Aufnahme hochauflösender Bilder jedes Wafers ist die Einheit in der Lage, Fehler und andere Unregelmäßigkeiten zu identifizieren, die den Betrieb des Halbleiterprodukts beeinflussen könnten. Die Wafer Metrology/Test Station verfügt über ein leistungsstarkes Spektrometer und eine Reihe automatisierter Test- und Messgeräte. Diese Station ermöglicht eine präzise Messung einer Vielzahl von Eigenschaften und elektrischen Eigenschaften auf dem Wafer. Dazu gehört die Messung der Topographie der Waferoberfläche wie Foliendicke sowie elektrische Eigenschaften wie Blech und Kontaktwiderstand. Durch die Bereitstellung sowohl physikalischer als auch elektrischer Daten ist die Maschine in der Lage, Prozessschwankungen auf der Waferoberfläche genau zu erkennen und zu charakterisieren. Neben diesen Funktionen bietet das Tool auch hervorragende In-Line-Fehlererkennungsfunktionen. Durch die Nutzung der erweiterten Inspektions- und Messtechnikfunktionen des Vermögenswertes können Kunden Fehler oder Unregelmäßigkeiten auf der Waferoberfläche schnell erkennen, analysieren und beheben. Insgesamt ist KLA 5011 ein äußerst zuverlässiges und vielseitiges Wafer-Prüf- und Messtechnikmodell. Durch eine detaillierte Analyse und Charakterisierung der Waferoberfläche sowie eine fortschrittliche Fehlererkennung ist diese Ausrüstung ein wesentliches Werkzeug für Kunden in einer Vielzahl von Branchen.
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