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KLA / TENCOR 5011 #293616228

KLA / TENCOR

5011

Overlay precision measurement system.
94
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KLA / TENCOR 5011 #9226125

KLA / TENCOR

5011

Overlay precision measurement system, 6".
105
KLA / TENCOR 5011 #136438

KLA / TENCOR

5011

Overlay precision measurement systems, 8", 1993 vintage.
116