Gebraucht KLA / TENCOR 5011 #9226125 zu verkaufen

KLA / TENCOR 5011
ID: 9226125
Wafergröße: 6"
Overlay precision measurement system, 6".
KLA/TENCOR 5011 ist eine hochgenaue Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Waferanalyse und Fehlersuche verwendet wird. Dieses Messsystem nutzt eine Kombination aus Rasterelektronenmikroskopie (SEM) -Technologie und leistungsstarken optischen Bildgebungstechniken, um sehr detaillierte Messungen und Fotos der gesamten Waferoberfläche zu erfassen. KLA 5011 bietet komplette Waferanalyse und Fehlerinspektion in einer einzigen Messtechnik-Einheit. TENCOR 5011 verwendet eine proprietäre Wafertransportmaschine, die entworfen ist, um jede Waferoberfläche durch das Werkzeug zu manövrieren. Diese Transportmittel sind darauf ausgelegt, Siliziumscheiben präzise und präzise über die SEM-Bildgebungs- und optischen Bildgebungssysteme zu transportieren, ohne Schäden zu verursachen. Sobald der Wafer in Position ist, kann das Modell zweidimensionale (2D) Kantenscans, dreidimensionale (3D) Bildgebung, berührungslose Schritthöhen, Wafer-Schritthöhen und Widerstandsmessung durchführen. 5011 ist für hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit optimiert und ermöglicht eine breite Palette von Waferanalyse und Fehlererkennung. Das Gerät ist in der Lage, Fehler wie Versetzungen, Prozessvariationen und Partikelverunreinigungen in einer einzigen automatisierten Plattform zu erkennen und zu identifizieren. Darüber hinaus ist das System auch in der Lage, Drucke durch Defekte, Bühnenprobleme, eingelegte Linien, morphologische Merkmale, Widerstandsfähigkeit Fingerabdrücke und verschiedene andere Wafer-Eigenschaften zu erkennen. Die optische Abbildungskomponente von KLA/TENCOR 5011 ist in der Lage, extrem hochauflösende Bilder von Waferoberflächen zu liefern. Dadurch können Fehler und Eigenschaften erkannt werden, die sonst nicht erkennbar wären. Die optische Abbildungseinheit ist auch zur Erkennung von Defekten in Dunkelfeldmodi ausgelegt, wodurch eine klare Kontrastdetektion möglich ist. Neben den Funktionen Wafertest und Messtechnik bietet die KLA 5011 auch einen umfassenden Satz von Datenanalyse- und Sortierwerkzeugen. Diese Funktion bietet Benutzern die Möglichkeit, Daten schnell und einfach zu sortieren, um Inspektionen zu priorisieren, Fehler zu kennzeichnen und Ertragsauswirkungen aus Berechnungen und statistischen Analysen zu ermitteln. TENCOR 5011 ist eine leistungsstarke und zuverlässige Maschine, die in der Lage ist, hochgenaue und zuverlässige Wafertests und messtechnische Ergebnisse zu liefern. Dieses Tool wurde entwickelt, um eine erweiterte Abdeckung über eine breite Palette von Wafergrößen und -prozessen bereitzustellen und ist in der Lage, die höchste Präzision und den schnellsten Durchsatz zu liefern, der im Wafer-Test- und Messtechnikbereich verfügbar ist.
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