Gebraucht KLA / TENCOR AIT XUV #9113703 zu verkaufen
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ID: 9113703
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Wafer inspection systems, 12"
(2) Load ports
Spot size: 3.5 um, 5 um, 6 um
Laser: 364 nm 90 mw
Resolution: 130 nm
(3) Channels defector:
Normal channel
(2) DF Channels
2006 vintage.
KLA/TENCOR AIT XUV ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es bietet einzigartige Einblicke in die mikro- und nanoskaligen Eigenschaften fortschrittlicher integrierter Schaltungen und anderer nanostrukturierter Materialien. Mit dem Fortschritt der immer kleineren Halbleitertechnologie bietet KLA AIT XUV Echtzeit-Messtechnik-Fähigkeiten unter Verwendung von State Of The Art (SOTA) Photovoltaik-, Elektronen- und Ionenbildtechniken. Es verfügt über die Fähigkeit, Gerätestrukturen bis in den Nanometermaßstab zu messen und bietet aufgrund seines durchsatzstarken Designs eine schnelle Datenerfassung. TENCOR AIT-XUV verfügt über einen miniaturisierten Teilchenbeschleuniger, der eine direkte On-Wafer-Ionenbildgebung, eine Elektronenkanalkontrastbildgebung und eine Röntgeninspektion durchführen kann. Das System enthält auch ein hochauflösendes geladenes Teilchenmikroskop für hochauflösende topographische Bilder. Das Gerät eignet sich ideal zur Analyse der Geräteleistung sowie zur Optimierung von Gerätestrukturen. Es bietet auch umfassende 2D- und 3D-Informationen aus hochauflösenden Bildern sowohl oberflächlicher als auch vergrabener Schichten. Die Maschine bietet fortschrittliche Fast Clean and Safe-Technologie, die es Anwendern erleichtert, Materialverunreinigungen auf der Oberfläche ihrer Produkte zu identifizieren und zu reinigen. Darüber hinaus bietet das Tool einen Hochdurchsatzmodus zur schnellen Durchsatzprüfung sowie rauscharme Signalverarbeitungsalgorithmen für Datenintegrität und verbesserte Genauigkeit. AIT-XUV verwendet ein Multiplexer-Design, um den Probendurchsatz zu erhöhen und das gleichzeitige Scannen mehrerer Chips zu ermöglichen. Die Probe wird sorgfältig mit einem hochkonfigurierbaren indirekten Laserausrichtungsmittel geladen und entladen, um eine genaue Positionierung und Registrierung jedes Teils zu gewährleisten. Dieses Modell erfüllt die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie in Bezug auf Bildgenauigkeit, Auflösung, Wiederholbarkeit, Durchsatz und Empfindlichkeit. Darüber hinaus bietet KLA/TENCOR AIT-XUV temperaturgeregelte Vakuumkammern mit Drucksensoren, Flussmessgeräten und Temperaturreglern. Insgesamt ist die KLA AIT-XUV ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug zur detaillierten Untersuchung von Nanostrukturen. Es bietet hochpräzise Analysefunktionen mit hohem Durchsatz und ist somit die perfekte Wahl für die mikroskopische Charakterisierung von integrierten Schaltungen und fortschrittlichen Materialien.
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