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KLA / TENCOR AIT XUV #9113703

KLA / TENCOR

AIT XUV

Wafer inspection systems, 12" (2) Load ports Spot size: 3.5 um, 5 um, 6 um Laser: 364 nm 90 mw Resol
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KLA / TENCOR AIT XUV #9240637

KLA / TENCOR

AIT XUV

Inspection system 2004 vintage.
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KLA / TENCOR AIT XUV #9145311

KLA / TENCOR

AIT XUV

Dark field wafer particle inspection system, 8" 2003 vintage.
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