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LEITZ LIS
ID: 293598594
Wafer inspection system.
LEITZ LIS ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik von Nikon Metrology, die Halbleiterherstellern hilft, Kosten, Komplexität und Zeitaufwand für die Prüfung und Messung ihrer Produkte zu reduzieren. Es kombiniert die Leistung eines hochauflösenden Laserinterferometers und fortschrittliche Bildgebungstechnologie, um Herstellern die erforderliche Leistung und Genauigkeit zu bieten. Das LIS-System besteht aus einem hochempfindlichen Laserinterferometer, das die Oberfläche eines Wafers in 3D mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1 Nanometern misst. Das Laser-Interferometer dient zur genauen Messung des maximalen Oberflächenprofils des Wafers sowie seiner Abweichungen oder mikrostrukturalen Merkmale. Die bildgebende Einheit erfasst ein Bild der Waferoberfläche bei einer erhöhten Vergrößerung von bis zu 5000x, wobei etwaige Defekte, Mängel und Anomalien aufgedeckt werden, die durch die herkömmliche optische Mikroskopie nicht erkennbar sind. Die bildgebende Technologie bietet dem Kunden eine sehr detaillierte Darstellung der Oberfläche des Wafers, so dass er potenzielle Probleme identifizieren und gegebenenfalls Korrekturmaßnahmen ergreifen kann. LEITZ LIS bietet zudem ein umfassendes Messtechnik-Paket zur Analyse verschiedener Aspekte der Wafergeometrie wie Oberflächenrauhigkeit, Linearität, Geradheit, Parallelität und Winkeligkeit. Zusätzlich kann die Maschine zur Untersuchung von Spannungs- und Dehnungsmustern auf dem Wafer oder Chip sowie des Brechungsindex von Substraten und der Oxidschicht auf dem Wafer eingesetzt werden. LIS ist ein einfach zu bedienendes und umfassendes Werkzeug, das das Potenzial hat, die Wafer-Test- und Messtechnik-Industrie zu revolutionieren. Es bietet hohe Präzision, Wiederholgenauigkeit und Genauigkeit sowie eine integrierte Analyselösung, mit der Hersteller potenzielle Mängel und Anomalien schnell identifizieren können, wodurch Fertigungszeit und -kosten reduziert werden. LEITZ LIS ist eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die nach einem zuverlässigen und fortschrittlichen Wafer-Test- und Messtechnik-Asset suchen.
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