Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293594359 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + ist eine Nassstation, die speziell für chemische Prozesse zur Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Diese Nassstation verfügt über einen untergetauchten Pyroätzofen, einen Badregler und eine Ätzgasverteilerplatte, die es ihr ermöglichen, Nassätz-, Asche- und Bandprozesse durchzuführen. Der Pyroätzofen ist darauf ausgelegt, Substrate mit einer Reihe von korrosiven Chemikalien sicher zu ätzen. Es verwendet hohe und niedrige Temperaturoperation, automatisch die Temperatur mit der katalytischen fünf Zonenreaktionsraumtemperaturkontrolle anpassend. Die katalytische Fünf-Zonen-Reaktionskammer ist ideal zum Steuern und schnellen Wechseln zwischen verschiedenen Gasinhalten in der Ätzkammer, und sie ist in der Lage, bis zu fünf Stufen der Ätzratenkontrolle. Die Badsteuerung ist eine benutzerfreundliche, automatisierte Steuerung, die es ermöglicht, Operationen in der Ätzkammer mit nur minimalem manuellen Eingriff durchzuführen, und sie schützt auch den Pyroätzofen vor thermischen und Sauerstoffdefiziten. Der Badregler verfügt über Schnellreaktionsbäder und kann bis zu 115 Rezepte speichern, und seine sicheren Materialhandhabungsmechanismen sorgen für höchste Produktqualität und Sicherheit. Die integrierte Ätzgasverteilerplatte innerhalb der Nassstation ermöglicht eine effiziente und sichere Abgabe von hochreinen seltenen Gasen. Es verfügt über mehrere Gasregelventile, mit der Möglichkeit, sowohl mit Flüssigkeits- als auch mit Dampfgasförderung zu arbeiten. Der Gasförderstrom soll ein Gleichgewicht zwischen rascher Aufnahme der Ätzreaktion und Minimierung der thermischen Beanspruchung erzielen. Das Panel verfügt auch über automatisierte Abgas- und Leckprüffunktionen für Behälter, die eine sichere Handhabung von Gasen garantieren. TEL Expedius + wet station verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung und Überwachung gewährleistet. Es ermöglicht Benutzern die Anzeige von Alarm- und Betriebszuständen mit einem benutzerfreundlichen grafischen Display und einer Vielzahl von Sensoreingangssignalen. Es unterstützt auch die Datenverwaltung und die CMMS (Computerized Maintenance Management System) -Synchronisation und bietet eine einfache Rückverfolgbarkeit für alle Prozesse. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON Expedius + Nassstation zuverlässige und effiziente chemische Verarbeitungsfunktionen. Mit seinem robusten und benutzerfreundlichen Design eignet es sich für die industrielle Halbleiterherstellung und andere hochpräzise chemische Prozesse.