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TEL / TOKYO ELECTRON
Expedius+
Wet bench, 12" Process flow: CHCL-CWS-SD2-SD2-HQDR-SC1(MS)-HQDR-SC1(MS)-HQDR-SPM 2007 vintage.
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Wet bench, 12" Process flow: CHCL-CWS-SD2(HF)-SD2(HF)-OF-LAL(HF17%)-HQDR-SC1-HQDR-SPM 2006 vintage.
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Wet benches, 12" Basic config: Bath configuration: LD-FIMS-SPM-HQDR-SC1-HQDR-SC1-HQDR-FRD-FRD Load/
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Clean / Strip system, 12" Processes: SC1 / SPM / BHF Currently warehoused 2006 vintage.
298
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Clean / Strip system, 12" SC1 / BHF Wet process Currently warehoused 2005 vintage.
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