Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9098649 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Expedius
ID: 9098649
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Wet bench, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassstation für den mikrolithographischen Prozess. Es ist eine automatisierte, All-in-One-Nassstation, die den Zeitaufwand für eine Vielzahl von Nassverarbeitungsschritten bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen reduziert. TEL Expedius Wet Station kommt mit einer Vielzahl von Funktionen, wie intuitive grafische Benutzeroberfläche, Prozessrezepte, verbesserte Benutzersteuerung, Prozessüberwachung, Datenprotokollierung und vieles mehr. TOKYO ELECTRON Expedius ist ein modulares System mit bis zu drei einzelnen Prozessmodulen, darunter Tauchtanks, Spinner und Trockner. Jedes Modul wird unabhängig gesteuert und überwacht, um die Prozessleistung zu optimieren. Die Tauchtanks sind mit Hochgeschwindigkeits-Rühren ausgelegt, um eine homogene chemische Prozessbehandlung zu gewährleisten. Die Spinner bieten gleiche und konsistente Spinngeschwindigkeit und Dosiergeschwindigkeit, um gleichmäßige Ergebnisse über verschiedene Wafergrößen zu erzielen. Die Trockner haben einstellbare Vakuum- und Temperatureinstellungen, um eine genaue Trocknung zu gewährleisten. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche von Expedius ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte zu erstellen und zu ändern. Die Prozessrezepte bieten eine präzise Parameterkontrolle und ermöglichen es dem Anwender, schnell neue Ziele ohne zusätzlichen Programmieraufwand einzurichten. Die GUI bietet auch Tools zur Datenprotokollierung und Analyse nach dem Prozess, um die Prozessleistung zu dokumentieren und zu überwachen. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Wet Station verfügt über fortschrittliche Funktionen zur Prozessüberwachung, einschließlich Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter wie Temperatur, Feuchtigkeit und Lösungskonzentration. Durch die Überwachung dieser Parameter können Anwender mögliche Prozessprobleme schnell identifizieren und Korrekturmaßnahmen durchführen, um die Konsistenz der Mikrolithographieergebnisse zu erhalten. TEL Expedius ist eine ideale Lösung für Unternehmen, die Zeit und Kosten für die Verarbeitung von Mikrolithographien reduzieren möchten. Es bietet eine benutzerfreundliche und effiziente Lösung, die zu konsistenten, qualitativ hochwertigen Ergebnissen führt. TOKYO ELECTRON Expedius ist mit seinen umfangreichen Funktionen, der benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche und der fortschrittlichen Prozessüberwachung ein Muss für jedes Mikrolithographielabor.
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