Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293829704 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + ist eine nasse Prozessausrüstung, die modernste Sprühtechniken mit fortschrittlicher Automatisierung und Roboterbehandlung von TEL kombiniert. Es ist eine ausgeklügelte Nassstation, die branchenführende Reinigungs-, Abscheide-, Ätz- und Passivierprozesse erreicht, um hocheffiziente Produktstrukturen zu schaffen. Kern des Systems ist die fortschrittliche MicroMist-Technologie, die mit einer Hochgeschwindigkeitsdüse feine, gleichmäßige Tröpfchen für eine optimale Prozesssteuerung erzeugt. Diese digitale Düse bietet bis zu 800 Düsen pro Reihe mit einer besseren Genauigkeit als 0,5 um und ermöglicht eine genaue Kontrolle der Sprüheigenschaften unter Echtzeit-Prozessüberwachung. Das Gerät ermöglicht eine präzise Abgabe von beliebiger Flüssigkeit, einschließlich Chemikalien, Gasen und flüchtigen Flüssigkeiten. TEL Expedius + integriert zudem einen integrierten, intelligenten Roboterarm in seine Prozessplattform und sorgt für präzise Automatisierung. Dieser Roboterarm, bekannt als TriCluster, kann für alle Prozessanforderungen individuell konfiguriert und unabhängig von der Steuerungssoftware programmiert werden. Dies bietet absolute Flexibilität und Kontrolle über den gesamten Prozess durch Positionierung, Orientierung und Bewegungssteuerung. Neben den automatisierten Funktionen bietet TOKYO ELECTRON Expedius + auch eine fortschrittliche Wafer-Handhabung und Steuerung von Waferpositionen, Reinigungs- und Ladearmen sowie überlegene Wafer-Oberflächenqualität und Gleichmäßigkeit. Die überlegenen Wafer-Handhabungs- und Ausrichtungsmerkmale ermöglichen eine hochpräzise Platzierung von Schaltungsmustern auf Wafern. Verbesserte Reinigungs- und Passivierungstechniken sind in die Maschine integriert sowie eine umfangreiche Palette an Prozessüberwachung und -steuerung für eine verbesserte Prozessüberwachung und -wiederholbarkeit. Expedius + bietet Kunden modernste Techniken in der Waferbearbeitung, wie präzise, industrielle Reinigungs-, Abscheide- und Ätzprozesse. Die Kombination aus fortschrittlicher Automatisierung, Roboterbehandlung, digitaler Düsenwäsche und fortschrittlichem Wafer-Handling bietet Kunden eine beispiellose Kontrolle über ihre Prozesse und überlegene Ergebnisse.