Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293629293 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + ist eine fortschrittliche Nassstation, die eine All-in-One-Lösung zur präzisen Steuerung von Prozessanwendungen mit hoher Komplexität bietet. Die Nassstation vereint präzise Niederdruckchemische Dampfabscheidung (LPCVD), chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und präzise Naßverarbeitungsmöglichkeiten. Das Gerät kann Werkstücke bis zu 200 mm (im Durchmesser) und 16 mm Dicke handhaben, wodurch eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit gewährleistet ist. Die Nassstation ist mit einer Vakuumkammer ausgestattet, die mit hochwertigen Materialien entworfen und gebaut wurde, um höchste Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die speziell konstruierte Kammer ermöglicht eine genaue Kontrolle des CMP-Prozesses, was zu präzisem Ätzen, hoher Oberflächenebenheit, Glätte und Homogenität führt. Es ermöglicht auch eine überlegene Präzisionskontrolle des CMP-Betriebs und maximiert sowohl die Qualität als auch die Produktivität des Prozesses. Die Nassstation verfügt auch über eine Kombination aus chemischen und Beschichtungsprozessen, um die Gleichmäßigkeit aller Oberflächenmerkmale genau zu steuern. Die CMP- und LPCVD-Prozesse werden während des gesamten Prozesses genau überwacht und verwaltet, wodurch die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit des Produkts gewährleistet ist. Die Nassstation unterstützt auch Trockenprozessanwendungen und bietet erweiterte Trockenätzfunktionen. Die integrierten Hochgeschwindigkeitsspindeln sorgen für mehr Kontrolle und höhere Produktivität während der mechanischen Prozesse des Polierens, Schleifens und Archivierens. Bildschirmgrafiken zeigen die Ergebnisse aller in Betrieb befindlichen Prozesse mit der Fähigkeit, vergangene Operationen und Einstellungen zur weiteren Optimierung zu überprüfen. Die Station ist mit einer Reihe von Sensoren ausgestattet, einschließlich Druck, Temperatur, Feuchtigkeit und Flüssigkeitsstand, was eine genaue Rückmeldung an den Bediener gibt. TEL Expedius + bietet eine zuverlässige und konsistente Umgebung, um eine optimale Präzision und Wiederholbarkeit bei chemischen, mechanischen und nassen Verarbeitungsprozessen zu gewährleisten. Merkmale wie die Niederdruckkammer, integrierte Spindeln und effiziente Steuerung ermöglichen es dem Gerät, die Produktqualität und den Ertrag zu steigern und gleichzeitig die Kosten zu senken. Diese multifunktionale Nassstation ist ideal für die präzise Steuerung von Prozessanwendungen mit hoher Komplexität.
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