Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9192012 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassverarbeitungsstation zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Plattform ist eine umfassende Ausstattung für postlithographische Prozesse, von der Oberflächenreinigung bis zum Trockenätzen. Es verfügt über eine breite Palette von Prozesstechnologien und hochgenaue Systeme. Die TEL Expedius Station besteht aus einer Basiseinheit, einem Kassettenlader mit einem Wafer und einem Verbindungssystem. Die Basiseinheit ist eine halbautomatische Plattform mit einer Reihe von Prozessbereichen, von manuellen Ätz- und Reinigungsbereichen bis hin zu automatisierten Abscheidungs-, Ätz-, Reinigungs- und Oberflächenvorbereitungsstufen. Der Einwafer-Kassettenlader ist der primäre Ein-/Ausgangsträger. Es ist eine Vakuum-Wafer-Transfer-Einheit, die Wafer sicher transportieren kann, während auch schnelle Wafer Deckel und Rezeptor Deckel zur Verfügung stellen, um die Wafer vor der Exposition gegenüber der Umwelt zu schützen. Die Verbindungsmaschine ermöglicht den Transfer von Wafern zwischen Prozessbereichen sowie zwischen Prozessmodulen innerhalb von TOKYO ELECTRON Expedius. Expedius Nassstation ist mit Nassätzmodulen und Plasmaätzmodulen ausgestattet. Die Nassätzmodule wurden entwickelt, um hohe Ätzraten unter Beibehaltung der kritischen Ätzqualität und Gleichmäßigkeit bereitzustellen. Die Plasmaätzmodule können für Radierungen mit hohem Seitenverhältnis, wie Kontaktätzungen, verwendet werden. Die Station ist in der Lage, Ätzgaszufuhr- und Chemikalienabgabesysteme zu verwalten, was konsistente Prozessergebnisse und minimale Umweltbelastungen gewährleistet. Es ist auch mit einem automatisierten Nachätzreinigungswerkzeug ausgestattet, das Waferoberflächen nach Ätzprozessen effektiv reinigt. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius Station umfasst auch eine Präzision mechanische Messtechnik Gang und eine atmosphärische Messtechnik Gang. Der mechanische Messtechnik-Gang ist ein hochgenaues Gut zur Messung der Abmessungen und Positionen verschiedener Strukturen auf der Halbleiterbauelementoberfläche. Der atmosphärische Messtechnik-Gang dient zur Überwachung und Messung der Eigenschaften von atmosphärischen Gasen im unmittelbaren Arbeitsbereich. Schließlich vereinfacht das erneuerbare Wafertransportmodell den Wafertransfer zwischen Prozessbereichen und ermöglicht den Schutz der Waferoberflächen vor Umwelteinflüssen bei der Verarbeitung. Das Gerät erkennt automatisch Wafertypen und transportiert die Wafer zwischen Prozessbereichen, so dass die Station die Anforderungen einer Vielzahl von Wafergrößen erfüllen kann. Insgesamt ist TEL Expedius ein umfassendes Nassstationssystem zur Herstellung anspruchsvoller Halbleiterbauelemente, das den Anforderungen der anspruchsvollsten Kunden gerecht wird. Es bietet eine breite Palette von Prozesstechnologien und genauen Systemen, während auch ein hohes Maß an Sicherheit für seine Betreiber.