Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #293745373 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + ist eine fortschrittliche Waferbearbeitungsanlage, die hochwertige, zuverlässige Einheitlichkeit und wartungsarme Reinigungsprotokolle bietet. Sein fortschrittliches und umfassendes Feature-Set ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen, von der führenden Halbleiterproduktion bis hin zu F&E und Prototyping. Im Kern von TEL Expedius + befindet sich eine Nassstation in einem schlanken Rahmen. Diese Nassstation ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen, einschließlich Streifen und Reinigung, Abscheidung, Ätzen, Oberflächenbehandlung und Dotieren. Darüber hinaus verfügt die Nassstation über ein präzises Scanautopositionierungssystem für eine genaue und wiederholbare Verarbeitung. Die Nassstation ist auch in der Lage, eine breite Palette von Prozesskammerkonfigurationen, von einem One-Equip-Single-Port-Modell zu einer voll integrierten Multi-Port-Einheit. Je nach Modell kann das Gerät bis zu zwölf Substrate gleichzeitig aufnehmen, was eine effizientere Waferproduktion und einen höheren Durchsatz ermöglicht. Neben der geräumigen Nassstation und Multi-Port-Konfiguration verfügt TOKYO ELECTRON Expedius + auch über eine Reihe fortschrittlicher Technologien, darunter Wafer-Wafer-Cross-Wafer-Messungen, Subkammer-Abgase, Kassetten-zu-Kassetten-Übertragung für erhöhte Substratkompatibilität und integrierte Top load-Messmaschine. Alle diese Funktionen wurden entwickelt, um eine ordnungsgemäße Handhabung von Wafern und Substraten zu gewährleisten, eine überlegene Prozesssteuerung zu gewährleisten und sogar eine wiederholbare Selbstausrichtung für Wafer-Planarität über verschiedene Läufe zu erreichen. Neben der beeindruckenden Auswahl an Features und Annehmlichkeiten bietet Expedius + auch ein langlebiges, selbstreinigendes Design. Der bahnbrechende ArF-Selbstreinigungsmechanismus unterstützt die Aufrechterhaltung einer guten Wafer- und Substratqualität bei minimalem manuellen Eingriff, während das Auto ATC-Werkzeug die manuelle Berührung reduziert und so das Risiko einer Kontamination minimiert. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + eine leistungsfähige und effiziente Waferbearbeitungsanlage mit überlegener Einheitlichkeit, umfangreichen Prozessfähigkeiten und fortschrittlichen Funktionen. Mit seinen beeindruckenden Fähigkeiten ist das Modell eine ausgezeichnete Wahl für Waferbearbeitungsanforderungen, von F&E und Prototyping bis zur Großserienfertigung.