Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9209422 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine nasse Halbleiterstation, die von der japanischen Firma TEL/TOKYO ELECTRON hergestellt wird, um eine Reihe von Verfahren zur Herstellung von Schaltungen auf Siliziumbasis bereitzustellen. Es wird zur Abscheidung, Diffusion und Lithographie verwendet, um schnell elektronische Bauelemente für die Halbleiterindustrie zu schaffen. Die TEL Expedius Station ist eine automatisierte Nassätz- und chemisch-mechanische Planarisierungs-Chemie-Station und besteht aus mehreren Kammern, darunter einer Ätzkammer, einem Diffusionsofen, einer Lithographiebahn sowie einer Schnittstelle zu einer zentralen Steuerung. Die Ätzkammer ist mit einem Hochspannungsgenerator ausgestattet, um ein isobares Ätzen ausgewählter Bereiche der Substratscheibe zu ermöglichen. Darüber hinaus verwendet die Kammer ein zweistufiges Gasfördersystem, chemisches Ätzmittelspray und Ozongenerator, um das Verfahren gleichmäßig und hocheffizient zu gestalten. Der Diffusionsofen ist in der Lage, eine Hochtemperaturverarbeitung bis zu 1100⁰C in einer Stickstoffatmosphäre durchzuführen, um die Abscheidung von Dotierstoffen wie Phosphor und Bor in die Siliziumschicht des Wafers zu ermöglichen. Dieser Prozess erzeugt Gatestrukturen, die einen verbesserten Stromfluss fördern. Die Lithographiespur ermöglicht die Entwicklung von Mustern in den Wafern mit hochauflösender Bildprojektion. Ein Elektronenstrahl wird verwendet, um Interferenzmuster in den Wafern zu erzeugen, um die gewünschten Merkmale zu erzeugen. Die Lithographiespur kann auch zur Bestrahlung des Wafers mit ultraviolettem Licht verwendet werden, um Wellenleiter für den Stromdurchgang der elektronischen Bauelemente zu erzeugen. Die Steindruckverfahrenspur wird zu mehreren peripherischen Systemen wie das scannende Elektronmikroskop, der Maskenschriftsteller und die Elektronmikroskoplasersteindruckverfahrensysteme verbunden. Die TOKYO ELECTRON Expedius Station wurde entwickelt, um der Halbleiterindustrie eine Lösung mit hohem Durchsatz zur Verfügung zu stellen. Es ist hochautomatisiert, kostengünstig und ermöglicht es Herstellern, schnell elektronische Komponenten zu erstellen. Zusammenfassend ist Expedius eine systematisch integrierte Nassstation, die aus Kammern zum Ätzen, Diffusion und Lithographie besteht. Es ist in der Lage, isobarische Ätz- und Diffusionsprozesse durchzuführen sowie Muster auf den Wafern mit präziser Auflösung zu entwickeln. Die Station ist hochautomatisiert und kostengünstig, so dass Hersteller elektronische Komponenten schnell herstellen können.