Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #293629288 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine nasse Prozessstation, die effiziente, großflächige Schneid- und Dünnprozesse auf einer Vielzahl von Materialien wie Siliziumscheiben, Chips und anderen Dünnschichtmaterialien ermöglicht. Es ist ein automatisiertes Werkzeug mit einem extrem kostengünstigen Herstellungsprozess und bietet zuverlässige Halbleiterherstellungsoperationen. TEL Expedius besteht aus zwei Grundkomponenten, die den Nassverarbeitungsbehälter und die zur Prozessautomatisierung verwendeten Roboter umfassen. Kern der Anlage ist ein Druckrohstoffübertragungsbehälter, der sowohl flüssige als auch feste Prozessmaterialien sicher und sicher übertragen kann. Die Robotereinheit besteht aus zwei Roboterarmen, einem zum Laden eines Wafers auf die Station und einem zum Steuern von Roboterarm, Druck, Bewegung und Ablauf des Prozesses. Das System verfügt über eine erweiterte Steuereinheit, mit der Benutzer die Prozessparameter anpassen und fein abstimmen können. Diese Maschine, genannt TOKYO ELECTRON Expedius Profil, basiert auf einer dreidimensionalen Darstellung der Prozessparameter. Mit diesem Tool können Anwender die Zentralität des Prozesses verbessern, ohne in zusätzliche Material- oder Arbeitskosten zu investieren. Neben dem effizienten Betrieb ist Expedius auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen und fortschrittlichen Technologien ausgestattet. Der Tank ist mit Sicherheitstüren ausgestattet, und der Roboterarm enthält einen Robotersensor, der alle benutzerdefinierten gefährlichen Bedingungen erkennen kann. Darüber hinaus ist die integrierte automatische Prozessüberwachung und Datenprotokollierung so konzipiert, dass sie den Betreibern im Falle eines Ereignisses zuverlässige Prozessverlaufsaufzeichnungen und Warnungen bereitstellt. TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist ein umfassendes Nassverarbeitungsmodell und hat revolutioniert, wie Dünnschichtprozesse in der Halbleiterindustrie durchgeführt werden. Die Kombination eines automatisierten Tank- und Roboterarms sowie seine fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale ermöglichen einen zuverlässigen und kostengünstigen Betrieb. Darüber hinaus ermöglicht die mitgelieferte Profilausrüstung eine fortschrittliche Anpassung der Prozessparameter bei minimalem manuellen Eingriff.
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