Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9131184 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius ist eine Nassstation zur Herstellung von Produkten. Es handelt sich um eine multifunktionale Ausrüstung, die eine hochpräzise und effiziente Fertigungs- und Prozesssteuerung ermöglicht. Es umfasst die Electronic Control (EC) -Technologie und eine Vielzahl von Plasmaquellen, die alle eine hochpräzise und effiziente Prozesssteuerung ermöglichen. TEL Expedius Nassstation wird für verschiedene Anwendungen über den Halbleiterprozess sowohl über Front-End-of-Line (FEOL) als auch Back-End-of-Line (BEOL) -Verarbeitung eingesetzt. Es kann verschiedene Prozesse wie Waferreinigung, Nassätzen, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und elektrochemische Abscheidung (ECD) aufnehmen. Die EC-Technologie ermöglicht die Gleichmäßigkeit der Prozessbedingungen auf einer größeren Fläche. Dies wird erreicht, indem eine breite Palette von Stromdichteeinstellungen bereitgestellt wird, die je nach Anwendungsart geändert werden können. Der Wafer kann verschiedenen Plasmaquellen ausgesetzt werden, die eine Optimierung der Abscheide- oder Ätzraten zur Erzielung einer Spitzenprozessleistung ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über Sicherheitsmerkmale, die dazu beitragen, Kontaminationen von Teilen durch Exposition gegenüber gefährlichen Chemikalien zu verhindern. Auf der Steuerungsseite wurde das TOKYO ELECTRON Expedius System entwickelt, um eine einfache Bedienung zu gewährleisten. Seine intuitive Bedieneinheit ermöglicht es dem Bediener, Prozessbedingungen schnell und einfach einzurichten und zu steuern. Es liefert Parameter zur Steuerung von Temperatur, Strom und Spannung mit großer Genauigkeit. Es verfügt auch über langlebige Mensch-Maschine-Schnittstellen, die durch zuverlässige Algorithmen unterstützt werden und einen effizienten Betrieb ermöglichen. Expedius hat eine kleine Stellfläche, die es perfekt für die Installation in Reinraumumgebungen macht. Darüber hinaus ermöglicht die robuste Bauweise einen kontinuierlichen Betrieb auch in Gegenwart korrosiver Chemikalien. Darüber hinaus bietet es eine präzise Prozesssteuerung für ein breites Anwendungsspektrum. Beispielsweise kann dieselbe Maschine zum Abscheiden oder Ätzen verschiedener Materialien wie Oxid, Polysilizium und Metalle verwendet werden. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Expedius eine leistungsfähige, effiziente Nassstation, die speziell für verschiedene Prozessanwendungen entwickelt wurde. Seine hochpräzise EC-Technologie und Plasmaquellen bieten eine hervorragende Prozesssteuerung, während seine benutzerfreundliche Oberfläche eine einfache und effiziente Bedienung ermöglicht. Es ist eine zuverlässige Lösung auch in Gegenwart von korrosiven Chemikalien, so dass es perfekt für die Integration in Reinraumumgebungen.