Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Expedius+ #9253879 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius + ist eine Nassstation mit fortschrittlichen Funktionen zur Optimierung der Gerätebearbeitung im Halbleiterbaugruppenprozess. Die Nassstation ist so konzipiert, dass sie optimale Bedingungen für die Gerätebearbeitung bietet. Dies geschieht über eine zweikammerige, atmosphärische Gasfördereinrichtung, die trockene und nasse Gase in die Plasmakammer fördert. Das Trockengassystem verfügt über einen Massenstromregler (MFC) zur Steuerung des Durchflusses und einen digitalen Druckwandler (DPT) zur Messung des tatsächlichen Drucks innerhalb der Kammer. Sie weist ferner einen Gasmonitor auf, der die Gaszusammensetzung im gesamten Volumen der Kammer misst und Partikelverunreinigungen im Trockengas kompensiert. In der Naßgaseinheit wird zur Steuerung des Durchflusses ein MFC und zur Messung des Kammerdrucks ein DPT verwendet. Zur Messung der Feuchtigkeit in der Kammer dient ein Feuchtigkeitsmonitor, der optimale Nassverarbeitungsbedingungen gewährleistet. Die Naßstation wird auch zur Abscheidung von Naßfilmen mit Feineinstellung der Abscheiderate kalibriert. Die Nassstation nutzt auch einen weiten Temperaturbereich. Er kann bei Temperaturen bis -50 ° C und bis 250 ° C arbeiten. Dieser große Bereich ermöglicht eine präzisere Feinabstimmung der Abscheiderate sowie eine größere Bandbreite an Gerätebearbeitungsmöglichkeiten. Dieses Sortiment gewährleistet auch die Sicherheit von Personal und Ausrüstung. Die Nassstation verfügt außerdem über eine automatisierte Abgasanlage, die eine sichere und effiziente Evakuierung abgebrannter und abgebrannter Verbindungen ermöglicht. Dieses Werkzeug verfügt über einen motorisierten Verschluss und eine schnell wirkende Lüftungsvorrichtung, die mit beispielloser Geschwindigkeit öffnen und schließen kann. Schließlich ist die Nassstation mit einem fortgeschrittenen Prozessalgorithmus ausgestattet. Dieser Algorithmus wurde entwickelt, um eine optimale Integration sowohl nasser als auch trockener Parameter zu gewährleisten und eine zuverlässige Steuerung der Geräteverarbeitung zu gewährleisten. Insgesamt ist TEL Expedius + eine Nassstation mit fortschrittlichen Funktionen, die die Gerätebearbeitung im Halbleiterbaugruppenprozess optimieren. Mit einer breiten Palette von Betriebstemperaturen, automatisierten Abgasanlagen und einem fortschrittlichen Prozessalgorithmus bietet diese Nassstation eine zuverlässige Steuerung der Geräteverarbeitung.